儀器網(wǎng)>產(chǎn)品中心>測(cè)量計(jì)量?jī)x器>表面測(cè)量?jī)x器>輪廓儀更新時(shí)間：2026-02-07 01:16:31

輪廓儀

（共3件相關(guān)產(chǎn)品信息）

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推薦廠商：: 布魯克納米表面儀器部

產(chǎn)品分類：: 更多輪廓儀臺(tái)階儀圓度儀/圓柱度儀三維表面形貌儀粗糙度儀其它表面測(cè)量?jī)x器

儀器分類：: 不限接觸式非接觸式

產(chǎn)品產(chǎn)地：: 不限中國(guó)大陸大洋洲歐洲亞洲美洲

廠商性質(zhì)：: 不限自營(yíng) 代理經(jīng)銷

銷售地區(qū)：: 不限售全國(guó) 售本省售本市

產(chǎn)品品牌：

不限
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深圳中圖儀器

美國(guó)狄夫斯高

德國(guó)GBS

上海精科

上海中晨

瑞士Rtec

收起參數(shù)(產(chǎn)地、種類、應(yīng)用領(lǐng)域)

綜合

銷售地區(qū)

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售全國(guó)

售本省

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廠商性質(zhì)

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價(jià)格由高到低
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德國(guó)布魯克非接觸光學(xué)輪廓儀ContourGT 3D

品牌：德國(guó)布魯克型號(hào)：ContourGT 3D 產(chǎn)地：歐洲德國(guó)

廠商：布魯克納米表面儀器部

簡(jiǎn)介：ContourGT系列結(jié)合先進(jìn)的64位多核操作和分析處理軟件，ZG技術(shù)白光干涉儀（WLI）硬件和前所未有的操作簡(jiǎn)易性，推出歷年來(lái)來(lái)zui先進(jìn)的3D光學(xué)表面輪廓儀系統(tǒng)。
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KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀

品牌：美國(guó)Filmetrics 型號(hào)：Profilm3D 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：優(yōu)尼康科技有限公司

簡(jiǎn)介：KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。
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￥1800000

西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx 2

品牌：西班牙Sensofar 型號(hào)：產(chǎn)地：歐洲西班牙

廠商：北京儀光科技有限公司

簡(jiǎn)介：西班牙Sensofar 3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx 2是一款多功能、用途廣泛的3D光學(xué)輪廓儀，用于粗糙度、體積和臨界尺寸測(cè)量。
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布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-200

品牌：布魯克型號(hào)：ContourX-200 產(chǎn)地：亞洲其它

廠商：冠乾科技（上海）有限公司

簡(jiǎn)介：ContourX- 200光學(xué)輪廓儀完美融合了高級(jí)表征、可定制選項(xiàng)和易用性,可提供一流的快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法。該設(shè)備作為可用于計(jì)量的小尺寸系統(tǒng),配置了大視場(chǎng)的5百萬(wàn)像素?cái)z像頭和新型電動(dòng)XY載物臺(tái),可提供高性能的的2D / 3D高分辨率測(cè)量功能。 1. 超強(qiáng) LED 雙光源，白光和綠光 2. 垂直測(cè)量范圍： 0.1nm 至 10mm；為了保證測(cè)量精確性，全量程閉環(huán)掃描，可連續(xù)測(cè)量0.1nm 到 10mmZ 向起伏樣品，無(wú)需縫合拼接 3. 垂直方向的分辨率：≤0.1nm； 4. RMS 測(cè)量的重復(fù)性：0.01nm； 5. 臺(tái)階高度測(cè)量準(zhǔn)確性：≤0.75%； 6. 臺(tái)階高度測(cè)量重復(fù)性：≤0.1%； 7. 測(cè)量臺(tái)：X-Y 行程 150mm×150mm，自動(dòng)控制；Z 方向最大行程 100mm，自動(dòng)控制; 測(cè)量臺(tái)傾斜俯仰(±6°)； 8. 最大樣品測(cè)試高度：100mm； 9. 采樣點(diǎn)數(shù)：≥1280*960； 10. 真彩色模塊，含彩色 CCD 攝像頭和彩色分析模塊，實(shí)現(xiàn)樣品真彩色三維形貌測(cè)量。 11. 橫向分辨率：≤0.5μm 12. 樣品反射率：<0.05%至 100%； 13. 具備自動(dòng)聚焦功能，自動(dòng)調(diào)光強(qiáng)功能 14. 具有無(wú)縫拼接功能，專利設(shè)計(jì)螺旋拼接，可以提高拼接速度，節(jié)省測(cè)試時(shí)間。 15. 自動(dòng)目鏡切換系統(tǒng)，可選 1x，0.55x, 2x 目鏡（至少選擇一個(gè)鏡頭） 16. 5 孔自動(dòng)物鏡塔臺(tái)（選配） 17. 白光干涉物鏡 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x （至少選擇一個(gè)鏡頭） 18. 真彩色模塊信號(hào)采集系統(tǒng)，分辨率 1280*960 19. 配備超光滑 Si-C 樣品和帶 8um 臺(tái)階樣品
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探針式輪廓儀/臺(tái)階儀Tencor P7 /P17

品牌：KLA 型號(hào)：Tencor P7 /P17 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司
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ZYGO 3D表面輪廓儀Nexview? NX2

品牌：翟柯型號(hào)：Nexview? NX2 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：北京儀光科技有限公司

簡(jiǎn)介：Nexview? NX2 光學(xué)輪廓儀是為更高應(yīng)用需求設(shè)計(jì)的，集超精密、先進(jìn)算法、應(yīng)用靈活性和自動(dòng)化為一體，優(yōu)異展現(xiàn)了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術(shù)的能力。
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Zygo 3D光學(xué)輪廓儀NewView? 9000

品牌：翟柯型號(hào)：ZYGO NewView? 9000 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：北京儀光科技有限公司

簡(jiǎn)介：NewView? 9000 3D光學(xué)輪廓儀提供了強(qiáng)大、多功能的非接觸式光學(xué)表面分析。它可以簡(jiǎn)單和快速地測(cè)量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。
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ZYGO 3D表面輪廓儀ZeGage Pro

品牌：翟柯型號(hào)：ZeGage Pro 產(chǎn)地：美洲美國(guó)

廠商：北京儀光科技有限公司

簡(jiǎn)介：ZeGage? Pro 和 ZeGage? Pro HR 三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)多種類型表面的微米和納米級(jí)特征進(jìn)行非接觸式測(cè)量和表征，實(shí)現(xiàn)制造環(huán)境中的質(zhì)量控制和過(guò)程監(jiān)控。

共3條
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新品推薦: KLA 三維光學(xué)輪廓儀Zeta-20
?; 探針式輪廓儀/臺(tái)階儀Tencor P7 /P17; PLS-F1000晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量，結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；; PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)PLS- F1000/ F1002 是一款專門測(cè)量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動(dòng)晶圓形貌檢測(cè)及分選機(jī)。; PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動(dòng)檢測(cè)機(jī)使用高精度高速紅外干涉點(diǎn)傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量，結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實(shí)現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測(cè)量?jī)?nèi)容包括：包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測(cè)試)。; QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
專為測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計(jì)，如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡; 德國(guó)T&S TS-X 輪廓測(cè)試儀; Mahr馬爾光學(xué) 3D 輪廓儀表面掃描
靈活性和效率 ? 測(cè)量系統(tǒng)在實(shí)驗(yàn)室以及生產(chǎn)環(huán)境中均可使用 ? 幾乎可對(duì)任何材料進(jìn)行測(cè)量 ? 測(cè)量軟件直觀的用戶引導(dǎo)確保了測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)單快速 ? 無(wú)需進(jìn)行耗時(shí)的樣品制備（例如，定向、防反射涂層或噴濺涂覆法等） ? 短短幾秒便可完成表面掃描和 2D 輪廓 ? 通過(guò)雙向掃描之類的功能可進(jìn)一步加快原本就很高的測(cè)量速度