布魯克光學輪廓儀ContourX-200
布魯克光學輪廓儀ContourX-500
布魯克光學輪廓儀ContourX-200
布魯克光學輪廓儀ContourX-100
Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀
Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀
ContourX-200光學輪廓儀融合了高級表征、可定制選項和易用性，可提供快速、準確和可重復的非接觸式三維表面計量方法。該設備作為可用于計量的小尺寸系統(tǒng)，配置了大視場的5百萬像素攝像頭和新型電動XY載物臺，可提供高性能的的2D / 3D高分辨率測量功能。
ContourX-200還配有業(yè)界先進的操作和分析軟件Vision64。VisionXpress?提供了更易于使用的界面和簡潔的功能，可訪問多種預編程濾鏡和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜，半導體，眼科，醫(yī)療設備，MEMS和摩擦學等領域的測量分析，可用于表面粗糙度，RDLxian進封裝工藝厚度等測試。
測量與分析功能
·易于使用的界面，可快速準確地獲得結果
·自動化功能用于日常測量和分析
·廣泛的濾鏡和分析工具選項，用于粗糙度和關鍵尺寸測量分析
·滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內的定制化分析報告
先進計量設備
·基于超過四十年的專有WLI創(chuàng)新，ContourX-200光學輪廓儀展現(xiàn)出定量計量所需的低噪聲、快速、精度的準確結果。
·通過使用多個鏡頭和集成的特征識別功能，設備可以在各種視野內以亞納米垂直分辨率跟蹤特征，可用于各種不同行業(yè)中的質量控制和過程監(jiān)控應用。
·ContourX-200對于反射率從0.05％到100％的各種表面都非常易于測量。
高性能表面計量
·放大倍率無關的Z軸分辨率
·大尺寸的標準視場
·穩(wěn)定集成防震設計
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晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。
晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實現(xiàn)的尺寸與結構測量內容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。
專為測量旋轉對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計，如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡
靈活性和效率 ? 測量系統(tǒng)在實驗室以及生產環(huán)境中均可使用 ? 幾乎可對任何材料進行測量 ? 測量軟件直觀的用戶引導確保了測量過程簡單快速 ? 無需進行耗時的樣品制備（例如，定向、防反射涂層或噴濺涂覆法等） ? 短短幾秒便可完成表面掃描和 2D 輪廓 ? 通過雙向掃描之類的功能可進一步加快原本就很高的測量速度
德國布魯克
美國布魯克海文
布魯克納米表面儀器部
美國瓦里安
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