探針式輪廓儀/臺階儀Alpha-Step D500 /D600

輪廓儀 P7 晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

P-7建立在市場領(lǐng)先的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。

臺階儀 D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀

KLA先進的探針式臺階儀Alpha-Step D-600，可測量納米級至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率

臺階儀 D300 經(jīng)濟型高精度臺階儀

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

臺階儀 D500 高精度臺階儀

Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針式輪廓儀 P17 自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

P-17是第八代臺式探針輪廓儀。該系統(tǒng)領(lǐng)先業(yè)界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

臺階儀

Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應(yīng)力測量。D-600 包含一個帶有200 毫米樣品載臺的電動樣品臺和具有增強影像控制的高級光學(xué)器件。

KLA 臺階儀 D-500

臺階高度：幾納米至1200μm 低觸力：0.03至15mg 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀 主要應(yīng)用 臺階高度：2D臺階高度 紋理：2D粗糙度和波紋度 形式：2D翹曲和形狀 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力 應(yīng)用領(lǐng)域 大學(xué)，研究實驗室和研究所 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體 SIMS：二次離子質(zhì)譜 LED：發(fā)光二極管 太陽能 MEMS：微電子機械系統(tǒng) 汽車 醫(yī)療設(shè)備