臺(tái)階儀
A&D系列密度天平
D系列電子萬能試驗(yàn)機(jī)
D系列大動(dòng)態(tài)均勻光源
Thies Clima 微型氣象站D系列
Esco AirstreamA2型二級(jí)生物安全柜 (D系列)
產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D及3D測(cè)量，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。
探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。 通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
臺(tái)階高度：幾納米至1200μm
低觸力：0.03至15mg
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
緊湊尺寸：最小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀
軟件：用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形式：2D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
工業(yè)應(yīng)用
大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS：二次離子質(zhì)譜
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
還有更多：請(qǐng)與我們聯(lián)系并探討您的要求
應(yīng)用
臺(tái)階高度
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。.
紋理：粗糙度和波紋度
Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。
形式：翹曲和形狀
Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-600能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢1264次探針
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢282次光學(xué)輪廓儀 臺(tái)階儀 原子力顯微鏡 (AEM & AFMMUR)
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2321次臺(tái)階儀
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢183次探針式輪廓儀
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢3291次
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢3668次臺(tái)階儀
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢198次探針式輪廓儀
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2151次輪廓儀/粗糙度儀
P-7建立在市場(chǎng)領(lǐng)先的P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。
KLA先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。
Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。
P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀。該系統(tǒng)領(lǐng)先業(yè)界，支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測(cè)量，以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應(yīng)力測(cè)量。D-600 包含一個(gè)帶有200 毫米樣品載臺(tái)的電動(dòng)樣品臺(tái)和具有增強(qiáng)影像控制的高級(jí)光學(xué)器件。
臺(tái)階高度：幾納米至1200μm 低觸力：0.03至15mg 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真 圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差 緊湊尺寸：小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀 主要應(yīng)用 臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度 紋理：2D粗糙度和波紋度 形式：2D翹曲和形狀 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力 應(yīng)用領(lǐng)域 大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體 SIMS：二次離子質(zhì)譜 LED：發(fā)光二極管 太陽能 MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng) 汽車 醫(yī)療設(shè)備
關(guān)注微信公眾號(hào)
微信小程序
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
分享
收藏
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)