產(chǎn)品介紹：

從傳統(tǒng)的二維表面粗糙度和臺階高度測量，到更高級的三維表面成像和薄膜應(yīng)力測試，Dektak 臺階儀適用面極廣，為用戶提供準(zhǔn)確性高，重復(fù)性佳的測量結(jié)果。在教育丶科研領(lǐng)域和半導(dǎo)體制程控制，Dektak 廣泛用於膜厚丶應(yīng)力丶表面粗糙度和面形的測量。近年來，在迅速成長的新能源領(lǐng)域 (太陽能行業(yè)，LED 行業(yè)，觸摸屏行業(yè))，Dektak 以其優(yōu)異性能被多數(shù)主要的工廠采用，作為工藝控制的必要手段。通過革新設(shè)計單拱龍門式設(shè)計使系統(tǒng)更穩(wěn)定與此同時實現(xiàn)測量重復(fù)性達(dá)到 5 埃以下 (<5?) 的業(yè)內(nèi)zui高水平。 這一里程碑式產(chǎn)品源自 Dektak 系列占據(jù)業(yè)界領(lǐng)先地位長達(dá)四十年的優(yōu)異表面測量技術(shù)。 保持業(yè)界一貫領(lǐng)先優(yōu)勢，首 次采用高清真彩相機提高圖像分辨率，而 64 位數(shù)據(jù)并行處理軟件則加速分析速度，使用戶易於使用。

Dektak XT 探針式表面輪廓儀

? 直觀化的 Vision64? 軟件簡化了用戶界面的操作過程

? 獨特的傳感器設(shè)計使在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和較大的力測量

? 自對準(zhǔn)的探針設(shè)計使用戶可以輕而易舉地更換探針

? 探針式輪廓儀的全 球領(lǐng) 導(dǎo)者

? 性能卓 越，物超所值

? 完備的零配件為您優(yōu)化或延伸機臺的多種應(yīng)用提供保障 

Dektak XTL? 探針式輪廓儀 

大面板測量系統(tǒng) - 綜合測量用於高產(chǎn)量，高精密生產(chǎn)控制！ 

新 Dektak XTL? 手寫筆分析器提供極其精確，可重復(fù)的測量范圍廣泛的應(yīng)用。憑借其容納樣品多達(dá) 350mmx350mm 能力，這系統(tǒng)終於帶來了傳說中的 DEKTAK 表現(xiàn)為 200mm 和 300mm 晶圓制造。

? 分析大樣本
? 編碼平臺
? 占地面積小工作站
? 工業(yè)設(shè)計
? 本地化的
? 模式識別

? 結(jié)合鍵盤/顯示器
? 先進的生產(chǎn)界面
? 門互鎖
? 對于 QA / QC 優(yōu)化功能
? 集成隔離平臺
? 自動準(zhǔn)備套件 SECS / GEM