Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準(zhǔn)確度好、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)。

高精度探針針尖變量的亞埃米級表面粗糙度測量，晶圓的表面粗糙度對于確定半導(dǎo)體器件的性能是至關(guān)重要的，對于先進(jìn)的元件制造商，芯片制造商和晶圓供應(yīng)商都要求對晶圓商超平坦表面進(jìn)行更精確的粗糙度控制。

對于工程師來說，識(shí)別介質(zhì)/平面基底的納米級缺陷的任務(wù)是一個(gè)非常耗時(shí)的過程，Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動(dòng)缺陷識(shí)別，通過與各種光學(xué)儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測效率。

Park Systems推出NX-3DM全自動(dòng)原子力顯微鏡系統(tǒng)，專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角的測量而設(shè)計(jì)。

CSI是一家法國科學(xué)設(shè)備制造商，擁有專業(yè)的AFM設(shè)計(jì)概念，以及為現(xiàn)有的AFM提供設(shè)計(jì)選項(xiàng)。它避免了激光對準(zhǔn)需要預(yù)先定位針尖的系統(tǒng)，針尖/樣品的頂部和側(cè)視圖，結(jié)合垂直的馬達(dá)控制系統(tǒng)，使預(yù)先趨近更加容易。

EM-AFM可在SEM中同時(shí)提供原子力顯微鏡成像和納米機(jī)械測量。它綜合了這兩種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，可高速獲得高分辨率的三維圖像，并且在微納米和亞納米尺度上實(shí)時(shí)觀察納米級力的相互作用，與常規(guī)SEM/FIB兼容，