高真空顯微鏡NX-Hivac 高真空原子力顯微鏡
Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比,高真空測量具有準確度好、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點。
原子力顯微鏡 NX-Wafer 全自動晶圓檢測原子力顯微鏡
高精度探針針尖變量的亞埃米級表面粗糙度測量,晶圓的表面粗糙度對于確定半導體器件的性能是至關(guān)重要的,對于先進的元件制造商,芯片制造商和晶圓供應(yīng)商都要求對晶圓商超平坦表面進行更精確的粗糙度控制。
全自動顯微鏡 NX-HDM 全自動缺陷檢測原子力顯微鏡
對于工程師來說,識別介質(zhì)/平面基底的納米級缺陷的任務(wù)是一個非常耗時的過程,Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動缺陷識別,通過與各種光學儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測效率。
可旋轉(zhuǎn)顯微鏡 NX-3DM 可旋轉(zhuǎn)全自動原子力顯微鏡
Park Systems推出NX-3DM全自動原子力顯微鏡系統(tǒng),專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角的測量而設(shè)計。
電學原子力 Nano observer 電學原子力顯微鏡
CSI是一家法國科學設(shè)備制造商,擁有專業(yè)的AFM設(shè)計概念,以及為現(xiàn)有的AFM提供設(shè)計選項。它避免了激光對準需要預(yù)先定位針尖的系統(tǒng),針尖/樣品的頂部和側(cè)視圖,結(jié)合垂直的馬達控制系統(tǒng),使預(yù)先趨近更加容易。
電鏡原位原子力 EM-AFM 電鏡原位原子力顯微鏡
EM-AFM可在SEM中同時提供原子力顯微鏡成像和納米機械測量。它綜合了這兩種技術(shù)的優(yōu)點,可高速獲得高分辨率的三維圖像,并且在微納米和亞納米尺度上實時觀察納米級力的相互作用,與常規(guī)SEM/FIB兼容,
Accurion RSE 快速晶圓檢測
Accurion Nano 系列 主動隔振臺
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掃描探針顯微鏡/原子力顯微鏡/掃描隧道顯微鏡/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡
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