IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng)
EVG6200 NT掩模對準光刻系統(tǒng)
IQ Aligner NT自動掩模對準系統(tǒng)
EVG單面/雙面掩模對準光刻機EVG610
EVG101 勻膠機 勻噴膠機 光刻膠處理機
EVG6200 NT掩模對準光刻系統(tǒng)
特色:EVG 6200 NT掩模對準器為光學雙面光刻的多功能工具和晶片尺寸高達200毫米。
技術數據:EVG6200 NT以其自動化靈活性和可靠性而著稱,可在小的占位面積上提供先進的掩模對準技術,并具有高的產能,先進的對準功能和優(yōu)化的總擁有成本。操作員友好型軟件,短的掩模和工具更換時間以及高效的球服務和支持使它成為任何制造環(huán)境的理想解決方案。EVG6200 NT或*安裝的EVG6200 NT Gen2掩模對準系統(tǒng)有半自動或自動配置,并配有集成的振動隔離功能,可在廣泛的應用中實現出色的曝光效果,例如薄和厚光刻膠的曝光,深腔和類似地形的圖案,以及薄而易碎的材料(例如化合物半導體)的加工。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。
EVG6200 NT掩模對準光刻系統(tǒng)
EVG6200 NT特征:
晶圓/基板尺寸從小到200 mm / 8''
系統(tǒng)設計支持光刻工藝的多功能性
在一次光刻模式下的吞吐量高達180 WPH,在自動對準模式下的吞吐量高達140 WPH
易碎,薄或翹曲的多種尺寸的晶圓處理,更換時間短
帶有間隔墊片的自動無接觸楔形補償序列
自動原點功能,用于對準鍵的確居中
具有實時偏移校正功能的動態(tài)對準功能
支持新的UV-LED技術
返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)
自動化系統(tǒng)上的手動基板裝載功能
可以從半自動版本升級到全自動版本
小化系統(tǒng)占地面積和設施要求
多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
先進的軟件功能以及研發(fā)與全面生產之間的兼容性
便捷處理和轉換重組
遠程技術支持和SECS / GEM兼容性
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG6200 NT附加功能:
鍵對準
紅外對準
納米壓印光刻(NIL)
EVG6200 NT技術數據:
曝光源
汞光源/紫外線LED光源
先進的對準功能
手動對準/原位對準驗證
自動對準
動態(tài)對準/自動邊緣對準
對準偏移校正算法
EVG6200 NT產能:
全自動:一批生產量:每小時180片
全自動:吞吐量對準:每小時140片晶圓
晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米
對準方式:
上側對準:≤±0.5 μm
底側對準:≤±1,0 μm
紅外校準:≤±2,0 μm /具體取決于基板材料
鍵對準:≤±2,0 μm
NIL對準:≤±3.0 μm
曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
楔形補償:全自動軟件控制
曝光選項:間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光
系統(tǒng)控制
操作系統(tǒng):Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數
多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR
實時遠程訪問,診斷和故障排除
工業(yè)自動化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理
納米壓印光刻技術:SmartNIL

報價:面議
已咨詢335次掩模對準曝光機
報價:面議
已咨詢361次UV-NIL/SmartNIL紫外壓印
報價:面議
已咨詢397次UV-NIL/SmartNIL紫外壓印
報價:面議
已咨詢102次大型儀器設備
報價:面議
已咨詢685次光刻機
報價:面議
已咨詢524次光刻機
報價:¥1500000
已咨詢3167次掩模對準曝光機
報價:面議
已咨詢3921次Quantum X align
步進式光刻 更高的精度 激光主動對焦 6 英寸加工幅面 特征尺寸0.4 μm
本設備是我公司專門針對各大、專院校及科研單位研發(fā)使用的一種精密光刻機,主要用于中小規(guī)模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產。
采用AOD激光操控技術,光斑定位精度優(yōu)于1nm,高精度套刻對準,結構邊緣超平滑,可輕松構建1微米以下線寬結構。 先進的AOD激光操控技術,使得DaLI具有超高的激光定位精度(優(yōu)于1nm),超長的有效壽命,以及極高的穩(wěn)定性。DaLI主要適用于廣泛應用于MEMS、材料科學、微流控、微光學器件及其它微納加工領域。
主要優(yōu)勢 ? 小巧桌上型系統(tǒng) ? 掩膜板制作及激光直寫 ? 375nm 或405nm 激光源 ? 兼容所有光刻膠 ? 高深寬比: 1 x 20
創(chuàng)新采用三柔性支點實現高精度自動調平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制;采用積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明;可連續(xù)設定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。