便捷的樣品測量（包含多樣品掃描）

• 一次可對多個樣品自動成像

• 設(shè)計的多樣本卡盤，一次至多可裝載9個單獨樣品（可選）

• 全電動XY樣品臺行程可達(dá) 150 mm x 150 mm

通過消除掃描器串?dāng)_進(jìn)行精 準(zhǔn)的XY掃描

• 獨立閉環(huán)XY和Z柔性掃描器

• 正交XY掃描

• 無需軟件處理即可保留真實可信的樣品表面形貌信息

真正非接觸模式實現(xiàn)探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護(hù)

• 快速的Z伺服速度，實現(xiàn)真正的非接觸模式

• 針尖磨損微小化，可實現(xiàn)長時間的高質(zhì)量和高分辨率成像

多種模式和選項

• 全面性的測量模式和表征方法

• 可實現(xiàn)可選配件和升級擴(kuò)展功能

• 用于故障分析(FA)的精密電學(xué)測量

Park的串?dāng)_消除技術(shù)不僅修正了掃描器弓形彎曲的缺點，還能在不同掃描位置、掃描速率和掃描尺寸條件下進(jìn)行平直正交XY軸掃描。即使是平坦的樣品也不會出現(xiàn)如光學(xué)平面、各種偏移掃描等背景曲率。因此Park能不懼艱難挑戰(zhàn)，為您在研究中提供高精度的納米測量。

Park AFM 配備了該領(lǐng)域有效的低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,因而達(dá)到了樣品形貌成像精 準(zhǔn)，沒有邊沿過沖無需校準(zhǔn)的高效率。Park NX系列不僅為您提供高精 準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，更為您大大節(jié)省了時間成本。

True Non-Contact? 模式是Park原子力顯微鏡系統(tǒng)專有的掃描模式。該模式通過在掃描過程中防止針尖和樣品損壞，產(chǎn)生高清的分辨率和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。

接觸模式下，針尖在掃描過程中持續(xù)接觸樣品；輕敲模式下，針尖周期性地接觸樣品；而在非接觸模式下針尖不會接觸樣品。因此，使用非接觸模式具有幾大優(yōu)勢。由于針尖銳度得以保持，所以在整個成像過程中會以高分辨率進(jìn)行掃描。非接觸模式下由于針尖不會直接接觸樣品表面，從而避免了損壞軟樣品。

此外，非接觸模式可以感知探針與樣品原子之間的作用力，甚至可以檢測到探針接近樣品時產(chǎn)生的橫向力。因此，在非接觸模式下使用探針可以有效避免撞到樣品表面時突然出現(xiàn)的高層結(jié)構(gòu)。而接觸模式和輕敲模式只能進(jìn)行探針底端檢測，很容易受到這種撞擊傷害。

具有擴(kuò)展性的 AFM 解決方案

行業(yè)領(lǐng)跑——支持廣泛的SPM 模式和選項

Park NX15 技術(shù)參數(shù)