布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-500
Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀
bruker布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-100
布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-200
布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-500
Bruker M4 TORNADO PLUS XRF成像光譜儀
ContourX-500光學(xué)輪廓儀是全面的快速，非接觸式3D表面計量自動化臺式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克專有的自動傾斜光學(xué)測頭，可以完全編程并自動測試一定角度范圍內(nèi)的表面特征，并能ZDCD地減少跟蹤誤差。
滿足計量要求，具有無與倫比Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀落地式型號所有業(yè)界公認(rèn)的優(yōu)點。
借助其新的USI通用掃描模式，本產(chǎn)品可以輕松地針對各種復(fù)雜應(yīng)用場景定制分析方法。這些場景涵蓋了從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。
高級自動化功能
專有的自動傾斜測頭為生產(chǎn)和監(jiān)測提供了無與倫比的靈活性。通過將自動傾斜測頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實現(xiàn)了測試位置不受傾斜角度影響的測量。進一步結(jié)合自動樣品臺和物鏡塔臺，使得ContourX-500非常適合“按需測量”工業(yè)要求，且占用空間小。
先進的臺式三維形貌計量設(shè)備
Z軸分辨率
高級自動化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測頭傾斜和自動亮度調(diào)整
更緊湊的氣動減震臺設(shè)計
優(yōu)質(zhì)的測量與分析功能
易于使用的界面，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果
廣泛的自動化功能，可量身定制測量和分析程序
最廣泛的濾鏡和分析工具
滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報告
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大小：0 B
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已咨詢1530次輪廓儀/白光干涉儀
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晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。
晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測量內(nèi)容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。
專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計，如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡
靈活性和效率 ? 測量系統(tǒng)在實驗室以及生產(chǎn)環(huán)境中均可使用 ? 幾乎可對任何材料進行測量 ? 測量軟件直觀的用戶引導(dǎo)確保了測量過程簡單快速 ? 無需進行耗時的樣品制備（例如，定向、防反射涂層或噴濺涂覆法等） ? 短短幾秒便可完成表面掃描和 2D 輪廓 ? 通過雙向掃描之類的功能可進一步加快原本就很高的測量速度
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