光學接觸角測量儀(水滴角測量儀) Theta Flow
英國peak 氣相色譜用氮氫空一體機
英國Peak氮氣發(fā)生器 Genius XE
EVG510 HE半自動熱壓花系統(tǒng)
Kosaka 便攜式臺階儀
佳重復性與線性度
? 采用直動式檢測方式
? 可避免圓弧補正誤差
? 可避免Bearing間隙誤差
? 臺階測定重復性:1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm
? Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

高分辨率
? 縱軸高分辨率0.1nm
? 橫軸高分辨率0.1um
? X測定速度可調:5μm~2mm/s
低測定力
? 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定
? 可測定軟質材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等
真直度保證-1

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已咨詢633次激光設備
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已咨詢344次臺階儀
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已咨詢4863次輪廓儀/臺階儀
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P-7建立在市場領先的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。
KLA先進的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
P-17是第八代臺式探針輪廓儀。該系統(tǒng)領先業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量,以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應力測量。D-600 包含一個帶有200 毫米樣品載臺的電動樣品臺和具有增強影像控制的高級光學器件。
臺階高度:幾納米至1200μm 低觸力:0.03至15mg 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭 梯形失真校正:消除側視光學系統(tǒng)引起的失真 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差 緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀 主要應用 臺階高度:2D臺階高度 紋理:2D粗糙度和波紋度 形式:2D翹曲和形狀 應力:2D薄膜應力 應用領域 大學,研究實驗室和研究所 半導體和復合半導體 SIMS:二次離子質譜 LED:發(fā)光二極管 太陽能 MEMS:微電子機械系統(tǒng) 汽車 醫(yī)療設備