三友掃描電鏡清洗設(shè)備ZONESEM II：凈化的行業(yè)利器

在精密儀器領(lǐng)域，掃描電子顯微鏡（SEM）以其的放大倍率和分辨率，成為物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)分析的關(guān)鍵工具。SEM的性能表現(xiàn)與日常維護(hù)，特別是其電子槍和樣品室的清潔程度息息相關(guān)。微量的污染物可能導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降，甚至影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性?；诖耍压就瞥隽薢ONESEM II掃描電鏡清洗設(shè)備，旨在為實(shí)驗(yàn)室、科研、檢測(cè)及工業(yè)用戶提供高效、專業(yè)的解決方案。

ZONESEM II 核心技術(shù)與創(chuàng)新亮點(diǎn)

ZONESEM II 憑借其獨(dú)特的設(shè)計(jì)理念和先進(jìn)的技術(shù)集成，在眾多清洗設(shè)備中脫穎而出。其核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

• 等離子體清洗技術(shù)： ZONESEM II 采用高頻射頻（RF）等離子體發(fā)生器，在真空環(huán)境中產(chǎn)生活性氧和活性氮等高能粒子。這些粒子能夠高效、溫和地分解和清除附著在SEM電子槍燈絲、樣品臺(tái)及真空腔體內(nèi)的有機(jī)污染物（如油污、殘膠、指紋等）以及無機(jī)顆粒。相較于傳統(tǒng)的化學(xué)清洗方法，等離子體清洗具有非破壞性、無溶劑殘留、環(huán)境友好等顯著優(yōu)點(diǎn)，尤其適合清洗對(duì)化學(xué)腐蝕敏感的精密部件。

  
  

• 智能真空控制系統(tǒng)： 該設(shè)備內(nèi)置了高精度真空泵和全自動(dòng)真空控制系統(tǒng)。用戶可根據(jù)清洗需求，精確設(shè)定并控制真空度，實(shí)現(xiàn)從低真空（如10 Pa）到高真空（<1 Pa）的靈活調(diào)節(jié)。這一特性確保了等離子體反應(yīng)在佳條件下進(jìn)行，大化清洗效率，同時(shí)避免了因真空度不當(dāng)可能帶來的設(shè)備損傷。

  
  

• 優(yōu)化的腔體設(shè)計(jì)： ZONESEM II 的清洗腔體采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料打造，內(nèi)部結(jié)構(gòu)經(jīng)過精密設(shè)計(jì)，能夠確保等離子體在腔體內(nèi)的均勻分布，使清洗效果覆蓋到 SEM 內(nèi)部的各個(gè)角落。寬大的腔門設(shè)計(jì)和人性化的樣品架，方便用戶快速、安全地置入和取出需要清洗的SEM部件。

  
  

ZONESEM II 的性能參數(shù)與數(shù)據(jù)支撐

• 清洗效率：
  • 有機(jī)物去除率： 針對(duì)常見的硅油、真空泵油等有機(jī)污染物，ZONESEM II 在標(biāo)準(zhǔn)清洗程序（15分鐘，200 W RF功率）下，可實(shí)現(xiàn) >98% 的去除率。
  • 無機(jī)顆粒吸附： 對(duì)直徑大于0.1 μm的金屬氧化物顆粒，清洗后殘余率低于 2%。
  
  
• 工作參數(shù)范圍：
  • RF功率： 50 W - 300 W（可調(diào)，步進(jìn)10 W）
  • 清洗時(shí)間： 1分鐘 - 60分鐘（可設(shè)定）
  • 工作溫度： 室溫至80°C（可調(diào)，用于增強(qiáng)某些有機(jī)物的分解速率）
  • 氣體種類： 純氧、純氮、混合氣體（用戶可選配）
  
  
• 真空度： -80 kPa 至 -99.9 kPa（相對(duì)真空度），或 10 Pa 至 0.1 Pa （絕對(duì)真空度）。
• 設(shè)備尺寸： 約 600mm (寬) x 700mm (深) x 900mm (高) （緊湊設(shè)計(jì)，節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間）。
• 電源要求： AC 220V ± 10%, 50/60Hz, 1.5 kW。

ZONESEM II 的應(yīng)用場(chǎng)景與價(jià)值

ZONESEM II 的應(yīng)用價(jià)值體現(xiàn)在多個(gè)層面：

• 提升SEM成像質(zhì)量： 通過定期清洗，有效去除電子槍區(qū)域的污染物，消除“漂移”、“散射”等現(xiàn)象，顯著提高SEM的信噪比和圖像清晰度。
• 延長(zhǎng)儀器使用壽命： 避免污染物累積對(duì)高真空系統(tǒng)和精密部件造成的潛在損害，從而延長(zhǎng)SEM的正常運(yùn)行時(shí)間，降低維護(hù)成本。
• 保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性： 清潔的樣品室環(huán)境和電子槍，能夠減少背景干擾，確保采集到的微觀形貌和成分分析數(shù)據(jù)的可靠性。
• 優(yōu)化實(shí)驗(yàn)流程： 相較于拆卸清洗，ZONESEM II 的集成式設(shè)計(jì)大大簡(jiǎn)化了清洗流程，節(jié)省了科研人員寶貴的時(shí)間，使其能更專注于實(shí)驗(yàn)本身。

結(jié)論

三友ZONESEM II 掃描電鏡清洗設(shè)備，以其先進(jìn)的等離子體技術(shù)、智能化的控制系統(tǒng)以及精細(xì)化的腔體設(shè)計(jì)，為 SEM 的日常維護(hù)提供了高效、可靠的解決方案。對(duì)于追求圖像質(zhì)量和數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的實(shí)驗(yàn)室及科研機(jī)構(gòu)而言，ZONESEM II 無疑是提升儀器性能、保障科研成果的重要投資。