產(chǎn)品簡介

日立高分辨型雙束系統(tǒng) NX5000

NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統(tǒng)采用冷場發(fā)射電子槍和全新的Aquila α鏡筒，具有高分辨的觀察能力；同時大束流的離子槍和實時觀察功能使其具有超高的加工效率。特的第三束（Ar）加工可以避免樣品損傷，為超薄樣品和復雜的制備提供了新的解決方案，可以滿足納米材料、半導體材料、生物材料等多種樣品的快速、無損、精細加工。

主要特點：

1.      高分辨冷場發(fā)射電子槍，實現(xiàn)高分辨觀察（0.7nm@15kV）

2.      全新的Aquila α鏡筒和多探測器實現(xiàn)不同觀察目的

3.      大束流（100nA）、高穩(wěn)定性離子槍實現(xiàn)快速加工

4.      實時觀察、多探針系統(tǒng)和7軸樣品臺等技術有效防止窗簾效應

5.      第三束Ar的引入實現(xiàn)無損和超薄樣品的加工

6.      多種沉積氣體可選

7.      全自動TEM樣品制備

應用領域：

納米材料微加工

半導體及電子元器件加工

生命科學