對于無機材料來說，經(jīng)常會碰到同分異構(gòu)的情況。但是僅僅通過掃描電鏡和能譜，我們只能得到形貌和成分數(shù)據(jù)，而沒有辦法對樣品進行準確的結(jié)構(gòu)分析。而結(jié)構(gòu)作為物質(zhì)的基本特性，極大的影響著熱、力、光、電、磁等性能，因此也是微區(qū)表征不容忽視的方面。