原子力顯微鏡PZ-1000 AFM采用掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體的光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)。高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇，彈簧懸掛式防震方式的結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)。
一、主要功能特點(diǎn) 
硬件系統(tǒng) 
1、主機(jī)與控制箱分開，外形結(jié)構(gòu)簡單；
2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；
3、精密激光定位裝置，使用時(shí)無需調(diào)節(jié)光斑位置；
4、采用精密探針定位模塊，更換探針簡單方便；
5、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
6、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
7、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
9、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用；
12、彈簧懸掛式防震方式，簡單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)。
軟件系統(tǒng) 
1、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512；
2、多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；
3、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
4、可任意選擇樣品起始掃描角度；
5、激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；
6、可任意定義掃描圖像的色板功能；
7、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；
8、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；
9、支持樣品圖片離線分析與處理功能。