QUANTAX EBSD 有一系列不同的探測(cè)器和探測(cè)器選項(xiàng)，包括 eWARP – 更快速的直接電子探測(cè) EBSD。

我們的產(chǎn)品組合包括用于直接電子探測(cè)（DED）的新型革命性eWARP探測(cè)器，帶有OPTIMUS 2 同軸TKD探測(cè)器的eFlash，以及用于 FSE/BSE 成像的ARGUS ? 探頭。

與 eWARP 新型 QUANTAX EBSD 一起進(jìn)入 EBSD 新時(shí)代

低電壓，低束流下的超快速測(cè)量: 高生產(chǎn)率和高分辨率

eWARP具有更高的信號(hào)檢測(cè)靈敏度，僅需要較低的加速電壓和束流，例如10 kV加速電壓和12 nA的束流，就可以達(dá)到每秒14,400個(gè)花樣的檢測(cè)速度，并且在這樣的電子束條件下可以得到足夠高的花樣質(zhì)量，使用ESPRIT軟件進(jìn)行分析時(shí)標(biāo)定率可以超過(guò)99%。

和在20 kV下獲得的傳統(tǒng)EBSD圖相比，由于加速電壓的降低，可以使其空間分辨率提高兩倍。換言之，eWARP能夠以至少25nm的分辨率和很好的花樣標(biāo)定率在很快的速度下采集EBSD分布圖。

eWARP令人難以置信的速度和更好的空間分辨率將對(duì)很多EBSD的主要應(yīng)用場(chǎng)景產(chǎn)生重大影響，特別是大面積檢測(cè)、3D EBSD和原位動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)等方面具有突破性的進(jìn)展。

10 kV 將成為新的常規(guī)測(cè)試條件: 更好的統(tǒng)計(jì)性和空間分辨率

eWARP具有更高的信號(hào)檢測(cè)靈敏度，在低加速電壓EBSD檢測(cè)下具有特殊的優(yōu)勢(shì)，因而在空間分辨率和標(biāo)定質(zhì)量方面取得了前所未有的進(jìn)步，這使得EBSD能夠在以前很困難甚至無(wú)法涉入的材料應(yīng)用領(lǐng)域中有突破并且得到更好的結(jié)果。

電池材料研發(fā)和生產(chǎn)是一個(gè)新興領(lǐng)域，EBSD在該領(lǐng)域中也顯示出了巨大的應(yīng)用前景。晶粒尺寸、形狀以及大角度晶界的比例等會(huì)影響電池的一些相關(guān)性能，如電池容量、充電速度、壽命和安全性。

圖4展示了鋰鎳鈷錳（NCM）電池的大面積取向分布圖，圖中包含了約12,000顆尺寸很小的晶粒。圖4中提取的部分給出了其中一個(gè)NCM粒子的精細(xì)微觀結(jié)構(gòu)。

20 nm 步長(zhǎng): 高難度的超細(xì)晶粒材料檢測(cè)

10 kV EBSD在表征鋼和鈦合金中的馬氏體結(jié)構(gòu)時(shí)優(yōu)勢(shì)尤為明顯。更低的加速電壓使電子束與樣品的相互作用體積更小，提高了空間分辨率和菊池花樣的對(duì)比度，可以得到更多的菊池帶，使標(biāo)定率更好，從而得到質(zhì)量更高的檢測(cè)數(shù)據(jù)，這對(duì)于EBSD的檢測(cè)結(jié)果與材料的相關(guān)性能分析至關(guān)重要。

圖5展示了通過(guò)常規(guī)機(jī)械拋光方法制備的馬氏體不銹鋼樣品的EBSD檢測(cè)數(shù)據(jù)。花樣質(zhì)量圖（上）顯示了典型的馬氏體板條結(jié)構(gòu)，步長(zhǎng)20納米。相應(yīng)的晶體取向圖（下）清楚地顯示了未經(jīng)降噪處理的原始數(shù)據(jù)就具有很高的標(biāo)定率。

增強(qiáng)型 ARGUS ?  FSE/BSE 成像系統(tǒng): 更快的速度、更多的細(xì)節(jié)

增強(qiáng)版ARGUS?成像系統(tǒng)的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):

• 高速 FSE/BSE 成像

• 新的虛擬 FSE 成像

• 取向襯度、表面形貌和相襯度

• 只需3秒即可采集1百萬(wàn)像素的圖像

• 同時(shí)獲取5幀不同信息的圖像

• 彩色及灰度圖

• 非常適合在原位實(shí)驗(yàn)期間進(jìn)行連續(xù)自動(dòng)化采集

eWARP的專利像素合并采集技術(shù)是新ARGUS?的核心成像系統(tǒng)，支持每秒高達(dá)350,000像素的超高速FSE成像，每像素提供比原始分辨率模式多80倍的信號(hào)。這使得FSE圖像采集具有更快速度和更高的質(zhì)量（見圖7）。

此外，ESPRIT現(xiàn)在還具備在EBSD檢測(cè)過(guò)程中同時(shí)自動(dòng)創(chuàng)建虛擬前散射電子（VFSE）圖像的能力，不會(huì)影響速度和數(shù)據(jù)的完整性。圖7展示了一組來(lái)自雙相不銹鋼的五個(gè)同步VFSE圖像。