上期內(nèi)容回顧：用于制備高保真圖案的優(yōu)化紫外納米壓印工藝（一）

使用柔性壓印模板而非剛性模具具有顯著優(yōu)勢(shì)：安裝在聚合物背板上的聚合物模板（工作模板）具有柔性，這使得工藝對(duì)顆粒污染物的敏感度降低，并且無(wú)需施加高外部壓力即可實(shí)現(xiàn)大面積的保形接觸，從而獲得高良率。使用低成本的工作模板替代昂貴的剛性母版模具，使得工作模板通常無(wú)需額外涂覆防粘層，因?yàn)榫酆衔锬＞卟牧媳旧硗ǔ＞褪堑捅砻婺懿牧?，能夠使工作模板從壓印表面輕松脫模。除了技術(shù)優(yōu)勢(shì)外，采用工作模板的方法通過(guò)簡(jiǎn)化工藝流程并保護(hù)母版模具的質(zhì)量，顯著降低了總體工藝成本。

三、SmartNIL? 工藝優(yōu)化結(jié)果

A. 圖案分辨率的靈活性

諸如偏振片、分布反饋（DFB）光柵或波導(dǎo)等不同應(yīng)用，對(duì)線寬與間距的幾何結(jié)構(gòu)有著不同的要求。圖 2 展示了使用紫外納米壓印技術(shù)（UV NIL）實(shí)現(xiàn)此類幾何結(jié)構(gòu)的靈活性。

圖 2 SmartNIL? 壓印結(jié)果展示分辨率靈活性：a) 12.5 納米；b) 75 納米線柵偏振片分辨率；c) 400 納米光柵；d) 2 微米線/間距

在壓印圖案下方殘留的樹脂層（即殘余層厚度，RLT）由涂覆樹脂層的厚度以及圖案的填充因子決定。假設(shè)圖案高度保持恒定，即使光柵圖案的線寬和周期發(fā)生變化，只要填充因子恒定，殘余層厚度也將保持一致。

B. 圖案形狀的靈活性

圖 3 說(shuō)明了針對(duì)不同應(yīng)用的圖案形狀靈活性，例如用于光子學(xué)應(yīng)用的桶形透鏡和亞微米級(jí)孔陣列，以及用于光管理的柱狀結(jié)構(gòu)和蜂窩狀結(jié)構(gòu)。

圖 3 SmartNIL? 壓印結(jié)果展示形狀靈活性：a) 桶形透鏡結(jié)構(gòu)；b) 光子晶體孔狀結(jié)構(gòu)；c) 400 納米納米圖案化藍(lán)寶石襯底（nPSS）柱狀結(jié)構(gòu)；d) 蜂窩狀抗反射結(jié)構(gòu)。

為了確保光子器件在低成本制造的同時(shí)保持穩(wěn)定的性能，使用同一塊工作模板進(jìn)行多次壓印并保證可靠的壓印質(zhì)量至關(guān)重要。