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針對一些特殊材料表面形貌的檢測需要,在原有國產(chǎn)商用激光檢測原子力顯微鏡的基礎上,設計研制了適用性更廣功能更強的原子顯微鏡在不提高驅動壓的前提下,采用改進的掃描管,將掃描范圍從15m ×15m 提高到了50m ×50m;改進了原有的微探針掃描模式,在探針上施加一驅動的簡諧振蕩信號,使探針發(fā)生振蕩由于存在著表面的力梯度,當樣品與探針距離發(fā)生振蕩變化時,針尖振蕩的振幅頻率和位相都會隨之改變用電子信號反饋電路探測此變化,就能得到樣品表面形貌的信息
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掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)
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