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基于掃描探針理論, 本文介紹了一種超精密加工用金剛石刀具刃口鋒銳輪廓的測量方法, 給出了測量圖象并分析了測量結(jié)果, S次對金剛石刀具刃口輪廓參數(shù)進行了A FM 掃描原理下的初步評定這一方法可提高金剛石刀具刃口鋒銳度的測量準確度,對進一步分析刃口參數(shù)如何影響超精密加工表面質(zhì)量具有指導意義
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http://www.spm.com.cn/papers/p35.pdf 掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)
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