"全文請訪問：http://www.spm.com.cn/papers/p48.pdf
利用離子束增強交替濺射聚四氟乙烯和氮化硅靶的方法制備出微組裝的Teflon/Si3N4多層膜，并通過PHI-5300FT-IR2000XRD和AFM/FFM等測定了多層膜的結(jié)構(gòu)力學性能和微觀摩擦磨損性能實驗結(jié)果表明：Teflon/Si3N4多層膜由晶態(tài)的Teflon和非晶態(tài)的Si3N4組成；Teflon/Si3N4多層膜的硬度與韌性摩擦系數(shù)與耐磨能力得到優(yōu)化組合；Teflon/Si3N4膜的微摩擦力與載荷間呈良好的線形關(guān)系；當載荷大于70nN時，摩擦過程中Teflon會發(fā)生滑移，出現(xiàn)明顯的磨損 全文請訪問：http://www.spm.com.cn/papers/p48.pdf" 掃描探針顯微鏡(SPM/AFM/STM)