半導體行業(yè)中Z常用的兩種有機溶劑是異丙醇（IPA）和丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）兩種有機溶劑都必須檢測痕量金屬污染物的含量，因為這些物質(zhì)的存在將會對存儲設(shè)備的可靠性產(chǎn)生不利影響由于具有快速測定各種工藝化學品中超痕量濃度待測元素的能力，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）已成為了質(zhì)量控制不可缺少的分析工具NexION 300 ICP-MS配置的通用池技術(shù)，同時提供了碰撞模式反應(yīng)模式和標準模式三種測定模式，儀器操作人員可以根據(jù)實際測定的要求選擇Z適合的模式，并能在一個分析方法中進行不同模式的切換本應(yīng)用報告證明了NexION 300 ICP-MS去除干擾，從而在使用高溫等離子體的條件下通過一次分析就能夠很容易的對IPA和PGMEA中全部痕量水平的雜質(zhì)元素進行測定的能力這一實驗在一次測定中同時使用標準模式和反應(yīng)模式可以得到**的分析結(jié)果 PerkinElmer 等離子質(zhì)譜儀