德國海德堡VPG 1600 型大尺寸掩膜版光刻機
德國海德堡 激光直寫光刻機DWL 66+
德國海德堡 Heidelberg 激光直寫光刻機 MLA150
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德國海德堡 μMLA桌面無掩模光刻機
終級型大尺寸掩膜版生產(chǎn)工具：VPG1600
新型Volume High Generator(VPG)大尺寸圖形發(fā)生器，是海德堡科技在大型光學(xué)系統(tǒng)上科技的創(chuàng)新與突破的里程碑。其利用獨 家ZG的技術(shù)“寬闊的平行化曝光制程技術(shù)”而開發(fā)出來的。
VPG是目前掩膜板大尺寸，大批量生產(chǎn)的可靠而又經(jīng)濟的解決方案，特別適用諸如：需要大量掩膜版的電子封裝產(chǎn)業(yè)，彩色濾光片產(chǎn)業(yè)，以及其它特別需要大面積，而且高分辨率需求相關(guān)產(chǎn)業(yè)。另外，VPG還可以提供優(yōu)異的影像質(zhì)量與注記差異（實際掩膜板與資料的差異）。
VPG 設(shè)計有可以搭載多樣化不同尺寸的承載平臺，例如：1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但這些系統(tǒng)都安裝有氣浮裝置，可配置半自動或者全自動的上下版裝置，并且可以選擇zui高輸出功率20W的UV激光發(fā)射頭。微細(xì)化的寫入步距，可以確保優(yōu)越的粗糙度和連接邊界。平臺位置自動校正技術(shù)，可以進(jìn)行優(yōu)異的自我校正，以達(dá)到精 準(zhǔn)的定位效果。
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步進(jìn)式光刻 更高的精度 激光主動對焦 6 英寸加工幅面 特征尺寸0.4 μm
本設(shè)備是我公司專門針對各大、專院校及科研單位研發(fā)使用的一種精密光刻機，主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。
采用AOD激光操控技術(shù)，光斑定位精度優(yōu)于1nm，高精度套刻對準(zhǔn)，結(jié)構(gòu)邊緣超平滑，可輕松構(gòu)建1微米以下線寬結(jié)構(gòu)。 先進(jìn)的AOD激光操控技術(shù)，使得DaLI具有超高的激光定位精度（優(yōu)于1nm），超長的有效壽命，以及極高的穩(wěn)定性。DaLI主要適用于廣泛應(yīng)用于MEMS、材料科學(xué)、微流控、微光學(xué)器件及其它微納加工領(lǐng)域。
主要優(yōu)勢 ? 小巧桌上型系統(tǒng) ? 掩膜板制作及激光直寫 ? 375nm 或405nm 激光源 ? 兼容所有光刻膠 ? 高深寬比: 1 x 20
創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
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