SE-L光譜橢偏儀是一款全自動高精度光譜橢偏儀，集眾多科技ZL技術(shù)，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動測量模塊。通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。SE-L光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件、平板顯示、光伏太陽能、功能性涂料、生物和化學(xué)工程、塊狀材料分析等領(lǐng)域。
1、高精度自動測量光學(xué)橢偏測量解決方案
2、全自動變角、調(diào)焦等控制平臺，一鍵快速測量
3、軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì)，易上手、操作便捷
4、豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力
5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)
6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集
7、全自動橢偏測量技術(shù)，基于行業(yè)領(lǐng)先電機(jī)控制技術(shù)，全自動調(diào)整測量角度，高精度控制樣件臺，實(shí)現(xiàn)樣件快速自動對準(zhǔn)找焦
8、頤光ZL技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜
9、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料
| 產(chǎn)品型號 | SE-L光譜橢偏儀 | ||
| 技術(shù)參數(shù) | 1、自動化程度：自動變角 2、應(yīng)用定位：自動型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 4、分析光譜：380-1000nm(可擴(kuò)至193-2500nm) 5、單次測量時(shí)間：0.5-5s 6、重復(fù)性測量精度：0.01nm 7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm,微光斑200um 8、入射角調(diào)節(jié)方式：自動變角 9、入射角范圍：45-90° 10、找焦方式：自動找焦 11、Mapping行程：支持100x100mm(可選配) 12、支持樣件尺寸：ZD至200mm | ||
| 可選配置 | 波段選擇 V:380-1000nm UV:245-1000nm XN:210-1650nm DN+:193-2500nm 角度選擇 自動:45-90° 其他選擇 Mapping選擇:100×100mm(供參考,按需定制) 溫控臺:室溫一600℃(供參考,按需定制) | ||
| 可選配件 | 1 | 溫控臺 | |
| 2 | Mapping擴(kuò)展模塊 | | |
| 3 | 真空泵 | | |
| 4 | 透射吸附組件 | | |
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深圳浦東雄安YOLO橢偏儀價(jià)格本公司堯零智能儀器根據(jù)教學(xué)大綱要求自主研發(fā)的固定波長激光橢圓偏振儀用于大學(xué)近代物理實(shí)驗(yàn)，儀器集光、機(jī)、電于一體，操作簡單，性能穩(wěn)定，可無接觸、無損傷精確測定超薄薄膜厚度。
high speed film thickness system measures routinely in less than a second! Tilt-free, focus free, hands-off operation for similar wafers. Fastest possible instrument for thin film measurement.
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