Hitachi S—3400N型掃描電子顯微鏡

采用TMP分子泵真空系統(tǒng)，節(jié)省占地面積和電源功耗。

主要用于對(duì)材料的微觀形貌、組織和成分進(jìn)行有效分析。

掃描電子顯微鏡

新研制的電子光學(xué)系統(tǒng)和自動(dòng)化功能顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無閃爍，高像素和實(shí)時(shí)圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實(shí)時(shí)信號(hào)混合并同時(shí)顯示兩個(gè)不同的檢測器觀測到的互不相同的樣品信息。

通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器可以在快速掃描模式下運(yùn)行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡單和便利。

1）分辨率二次電子探頭：≤3.0 nm（在30kV，高真空模式)，≤10 nm（在3 kV，高真空模式)；

被散射探頭：≤4.0 nm（在30kV，低真空模式)。

2）加速電壓：0.3kV～30kV連續(xù)可調(diào)。

3）放大倍數(shù)：zui低倍率5倍，zui高倍率300,000倍。

4）真空系統(tǒng)① 具有低真空功能，高低真空切換，不需要安裝壓差光闌；② 真空度：高真空不低于0.1 mPa；低真空（壓力范圍）：10 Pa—270 Pa；

5）電子光學(xué)系統(tǒng)① 電子槍：鎢燈絲，具有自動(dòng)偏壓+4級(jí)偏壓功能；② 聚光鏡光闌完全安裝在長內(nèi)襯管內(nèi)，可自行更換聚光鏡光闌。

6）樣品室和樣品臺(tái)① 樣品臺(tái)尺寸：裝載直徑≥200 mm樣品；② 樣品臺(tái)（五軸樣品臺(tái)，2軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)功能）；③  行程：X=100 mm；Y=50 mm；Z=50 mm；R=3600；T=-20～+900；

7）探測器及成像系統(tǒng)① 二次電子探測器：二次電子像；高靈敏5分割背散射電子探測器：成分像、形貌像和三維像；②成像模式：同時(shí)得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像；