晶圓接觸角測量儀Theta Flow Wafer
光學(xué)接觸角測量儀(水滴角測量儀) Theta Flow
高溫高壓接觸角測量儀
Biolin光學(xué)接觸角測量儀(水滴角測量儀)Theta Flex
Biolin光學(xué)接觸角測量儀Theta Lite
Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī)，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用，zui終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。
應(yīng)用
? 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。
? 確定表面自由能
通過測量接觸角，可以推斷出表面自由能，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。
? 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
? 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水，從而影響光刻和蝕刻等工藝。
? 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分，以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
? 批量模式，用于對一排多個晶圓進(jìn)行快速測量。
? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法，可進(jìn)行更深入的分析。
晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺
Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺，用于旋轉(zhuǎn)晶圓，以實(shí)現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動定位測量。
Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢谩榱诉M(jìn)一步固定晶圓，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。
Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺，可以自動定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了zui大限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能，建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動進(jìn)行表面自由能測量，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。
產(chǎn)品參數(shù)
| 測量參數(shù) | 表面張力，界面張力，接觸角，表面自由能 |
| 相機(jī)分辨率上限(像素) | 2592x2048(5.3 MP) |
| 拍照速度上限（FPS） | 3422 |
| 旋轉(zhuǎn)移動范圍 | 0-360° |
| zui大轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
| 分辨率 | 0.005° |
| 精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
| 適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
| zui大樣品重量 | 500g |
其他
| 真空泵連接 | 是 |
| 接觸角的自動定位 | 是 |
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已咨詢227次接觸角測量儀
報價：￥200000
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Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow Wafer光學(xué)接觸角測量儀主機(jī)，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
數(shù)字相關(guān)器適用于PCS技術(shù)，如動態(tài)光散射、熒光相關(guān)光譜、擴(kuò)散波光譜、擴(kuò)散光學(xué)層析成像。
NanoLab 3D是一款緊湊型動態(tài)光散射（DLS）粒度測量儀器，基于開創(chuàng)性的專利調(diào)制三維互相關(guān)技術(shù)（Modulated 3D Cross-Correlation）。它有效地抑制了多重光散射，因此大多數(shù)樣品不再需要樣品稀釋。
可變角度光散射儀（廣角動/靜態(tài)光散射儀）用于顆粒表征。LS Spectrometer是一種可變多角度光散射儀器（V-MALS）。在LS Spectrometer中，檢測器安裝在可移動的臂上，可以對幾乎任何角度進(jìn)行精確調(diào)整，從而提高測量靈敏度。LS Spectrometer結(jié)合專利的調(diào)制三維技術(shù)（Modulated 3D）（無稀釋測量）和CORENN（改進(jìn)的聚集檢測），實(shí)現(xiàn)了市場上全面的納米顆粒表征。
POROLUX BP是一款泡點(diǎn)測試儀，用于測量過濾和分離應(yīng)用介質(zhì)中的Z大孔徑（通常稱為“泡點(diǎn) (BP)”）。 POROLUX BP可在0 bar (0 psi) 至 5 bar (75 psi) 的壓力范圍內(nèi)快速準(zhǔn)確地提供泡點(diǎn)結(jié)果，并可檢測約300 μm 至 0.13 μm的孔隙。 由于其簡化的操作，POROLUX BP 為 BP dPL（起泡點(diǎn)測量為與用戶定義的壓力增加的線性度的偏差）和 BP x-ml（在用戶定義的流量下測量的起泡點(diǎn)）提供了高度可重復(fù)的結(jié)果速度）。這使得 POROLUX BP 成為許多生產(chǎn)過濾和分離介質(zhì)的公司進(jìn)行質(zhì)量控制和/或研發(fā)的明確選擇。
POROLIQ 是一種液液通孔分析儀(LLP)，可根據(jù)步進(jìn)/平衡型方法確定孔徑。這意味著只有在滿足用戶定義的壓力和流量穩(wěn)定性算法的情況下才接受數(shù)據(jù)點(diǎn)。 POROLIQ 被廣泛認(rèn)為是市場上先進(jìn)準(zhǔn)確的液液法通孔分析儀之一。 適合檢測非常小的孔隙，以及表征中空纖維等壓敏膜。
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