簡介

nanoTOF 3是PHI最.新一代的TOF-SIMS，擁有全新外觀、緊湊設(shè)計，以及更強(qiáng)性能。

關(guān)鍵技術(shù)

• 實現(xiàn)高精度測量的一次離子槍。

• 三重離子束聚焦質(zhì)量分析器，復(fù)雜形貌樣品的高精度分析。

• TOF-SIMS自動多樣品測試。

• 獨特的離子束技術(shù)。

• 通過平行成像MS/MS進(jìn)行分子結(jié)構(gòu)分析。

• 可靠的遠(yuǎn)程訪問功能，即使在遠(yuǎn)離設(shè)備的情況下也能進(jìn)行“測量”和“診斷”。

• 多樣化配置。

實現(xiàn)高精度測量的一次離子槍

先進(jìn)的離子束技術(shù)，實現(xiàn)高空間分辨率

PHI nanoTOF3 能夠提供高質(zhì)量分辨和高空間分辨的TOF-SIMS分 析：在高質(zhì)量分辨模式下，其空間分辨率優(yōu)于500 nm；在高空間分 辨模式下，其空間分辨模式優(yōu)于50 nm。通過結(jié)合高強(qiáng)度離子源、 高精度脈沖組件和高分辨率質(zhì)量分析器，可以實現(xiàn)低噪聲、高靈敏度和高質(zhì)量分辨率的測量。

三重離子束聚焦質(zhì)量分析器(TRIFT)，復(fù)雜形貌樣品的高精度分析

三重離子束聚焦質(zhì)量分析器，適用于寬帶通能量、寬立體接受角度、各種形貌樣品分析

主離子束激發(fā)的二次離子會以不同角度和能量從樣品表面飛出，特別是對于有高度差異和形貌不規(guī)則的樣品，即使相同的二次離子在分析器中會存在飛行時間上的差異，因此導(dǎo)致質(zhì)量分辨率變差，并對譜峰形狀和背景產(chǎn)生影響。

TRIFT質(zhì)量分析器可以同時對二次離子發(fā)射角度和能量進(jìn)行校正，保證相同二次離子的飛行時間一致，所以TRIFT兼顧了高質(zhì)量分辨率和高檢測靈敏度優(yōu)勢，對于不平整樣品的成像可以減少陰影效應(yīng)

TOF-SIMS自動多樣品測試

Queue Editor實現(xiàn)多樣品自動測試

您可以輕松創(chuàng)建和編輯包括質(zhì)譜分析、成像分析和深度剖析在內(nèi)的所有測試方案。測試方案中除了測試條件外，還包括測試位置的信息。在您創(chuàng)建測試序列后，程序可根據(jù)測試方案自動進(jìn)行多樣品多點分析。

全自動樣品傳送系統(tǒng)

PHI nanoTOF3 配置了在XPS的Q系列上表現(xiàn)優(yōu)異的全自動樣品傳送系統(tǒng)：最大樣品尺寸可達(dá)100 mmx100 mm，而且分析室標(biāo)配內(nèi)置樣品托停放裝置；結(jié)合分析序列編輯器（Queue Editor）， 可以實現(xiàn)對大量樣品的全自動連續(xù)測試。

獨特的離子束技術(shù)

采用新開發(fā)的脈沖氬離子槍，獲得專利的自動荷電雙束中和技術(shù)

TOF-SIMS測試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應(yīng)。PHI nanoTOF3 采用自動荷電雙束中和技術(shù)，通過同時發(fā)射低能量電子束和低能量氬離子束，可實現(xiàn)對任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動荷電中和，無需額外的人為操作。

標(biāo)配離子槍新增FIB(Focused Ion Beam)功能

在PHI nanoTOF3 中，液態(tài)金屬離子槍增加了FIB處理新功能，
可以使用單個離子槍進(jìn)行橫截面處理和橫截面TOF-SIMS分析。
通過操作計算機(jī)，可以快速輕松地完成從FIB處理到TOF-SIMS
分析的全過程。此外，也具備冷卻條件下FIB加工能力。

通過平行成像MS/MS進(jìn)行分子結(jié)構(gòu)分析

MS/MS平行成像同時采集MS1/MS2數(shù)據(jù)（專利）

在TOF-SIMS測試中，MS1質(zhì)量分析分析器接收從樣品表面產(chǎn)生的所有二次離子碎片，對于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子，MS1譜圖難以區(qū)分。通過安裝串聯(lián)質(zhì)譜MS2，對于特定離子進(jìn)行碰撞誘導(dǎo)解離生產(chǎn)特征離子碎片，MS2譜圖可以實現(xiàn)對分子結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步鑒定。

PHI nanoTOF3 具備串聯(lián)質(zhì)譜MS/MS平行成像功能，可以同時 獲取分析區(qū)域的MS1和MS2數(shù)據(jù)，為分子結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)分析提供了 強(qiáng)有力的工具。

可靠的遠(yuǎn)程訪問功能，即使在遠(yuǎn)離設(shè)備的情況下也能進(jìn)行“測量”和“診斷”

遠(yuǎn)程訪問實現(xiàn)對儀器的遠(yuǎn)程控制

PHI nanoTOF3 允許通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)訪問儀器。只需將樣品 臺放入進(jìn)樣室，就可以對進(jìn)樣、換樣、測試和分析等所有操作進(jìn) 行遠(yuǎn)程控制。我們的專業(yè)人員可以對儀器進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷*。

*如需遠(yuǎn)程診斷，請聯(lián)系我們的客戶服務(wù)人員。

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多樣化的配置

• 串聯(lián)質(zhì)譜

• 氬團(tuán)簇離子源

• 氬/氧氣離子源

• 銫離子源

• 碳60離子源

• 樣品臺高/低溫模組

• 真空傳輸管

• 惰性氣氛手套箱

• 觀察曲面樣品專用樣品托

• 通氧模組

• 聚焦離子束

• 聚焦離子束軟件

• 離線數(shù)據(jù)處理軟件

• 靜態(tài)質(zhì)譜圖庫