離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復(fù)原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀常見故障

故障現(xiàn)象：使用一段時間后，濺射電流變小

解決方法：對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進行檢查。前兩者對靶材進行更換，后者被油蒸汽污染，通過無水乙醇進行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。

故障現(xiàn)象：在使用一段時間以后，有著過低的真空。

解決方法：對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進行檢查，能夠使用汽油進行清洗。

故障現(xiàn)象：濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低

解決方法：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時針旋轉(zhuǎn)，對間距進行調(diào)整。

故障現(xiàn)象：有著過低的真空

解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。

離子濺射儀技術(shù)參數(shù)：

1、真空測量：1×10的5次方到-1.0×0.1帕，數(shù)字顯示，單片機進行控制，數(shù)字進行顯示，真空保護鎖設(shè)置為其所具有。

2、控制系統(tǒng)：單片機控制，使得真空自動測量、顯示、定時器dao計時功能完成以及使得鍍膜程序自動完成。

3、真空泵：每秒2升二級旋片式直聯(lián)機械泵，極限真空度6×0.1帕。

4、充氣閥：金屬微調(diào)針型閥，保護氣體：推薦99.9%純度氬氣

5、外形尺寸：長354毫米 ×高216毫米 ×深340毫米

6、電源：AC 220伏特 50赫茲

7、真空腔：￠150×12 硼酸硅質(zhì)玻璃

8、濺射靶尺寸：￠55×0.3

9、基臺： ￠50 6-8個樣品

10、極間距調(diào)節(jié)范圍：20-40毫米

11、濺射電壓： -2000伏-0 DC連續(xù)可調(diào)

濺射電流0-30 毫安

12、定時器：0-99分?jǐn)?shù)字顯示