離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀系統(tǒng)安裝

1、電源要求:220VAC,50赫茲

2、工作臺要求:長120厘米×寬100厘米

3、將包裝箱小心拆開，將真空泵和濺射儀主機(jī)取出，并且在工作臺上放置，在濺射儀主機(jī)的后面放置真空泵。

4、將油霧過濾器在真空泵上安裝，并且將適量的真空泵油往進(jìn)油口倒入，使真空泵油在觀察窗口的上線和下線之間得以確保（設(shè)備出廠時有可能已經(jīng)有適當(dāng)真空泵油被裝在真空泵中）。

5、小心地抬起濺射儀主機(jī)上的濺射頭并且盡可能地向后仰,使濺射頭不會倒下得以確保。將濺射頭保護(hù)墊移走，將玻璃樣品室安上，再將濺射頭小心輕輕的放下。

6、在真空泵和濺射儀主機(jī)連接金屬真空管件，在連接以前shou先將真空管轉(zhuǎn)接頭安裝在真空泵上。在連接時需要將真空墊圈在每個接口墊上。為了避免真空泄漏，在連接以后值得注意的是將接口鎖緊。

7、通過電源線連接上真空泵和濺射儀主機(jī)，并且將真空泵上的開關(guān)打到開的位置。

8、將濺射儀主機(jī)的電源線接上，并且將濺射儀主機(jī)后面的進(jìn)氣口打開。