磁控濺射鍍膜儀
GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀
三靶射頻磁控濺射鍍膜儀
專業(yè)提供鍍膜服務(wù) 磁控濺射鍍膜 氣相沉積鍍膜 電子束蒸發(fā)鍍膜
NSC-1000磁控濺射系統(tǒng) 那諾-馬斯特 磁控濺射鍍膜廠家
官網(wǎng):www.tianzeler.ltd
天澤智能科技發(fā)展(天津)有限責(zé)任公司
石英處理室:
濺射類型:(選一)
試樣臺尺寸:Φ40-150mm,樣品杯插孔19-61個(gè)可選;
樣品更換:設(shè)有支撐結(jié)構(gòu),上蓋打開可獨(dú)立支撐,
金靶尺寸:Φ50或φ57mm;
真空系統(tǒng):靜音直聯(lián)旋片真空泵2L/S;
真空檢測:定制皮氏計(jì),配合真空指針表,靈敏可靠;
真空保護(hù):20pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空;
真空泄壓:自動進(jìn)排氣(無需手動放氣閥)。
電路保護(hù):過載保護(hù)
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣節(jié);
桌面型熱蒸發(fā)鍍碳儀:




主要功能: |
電子在電場的作用下,飛向基片過程中與氣體原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出氣體正離子和新的電子;新電子飛向基片,離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場,被束縛在靶表面特定區(qū)域,增強(qiáng)電離效率,增加離子密度和能量,從而實(shí)現(xiàn)高速率濺射。
主要應(yīng)用:
適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜、鉑金、銀、鎳、銅等),儀器操作簡單方便,是配合各類型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。是制備低維度,小尺寸納米材料器件的必備實(shí)驗(yàn)手段,廣泛應(yīng)用于集成電路,光子晶體,低維半導(dǎo)體、微生物、超微膜材料等領(lǐng)域。
配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家:
熱電(美國原荷蘭)FEI鎢絲陰極、場發(fā)射、飛納臺式等各類型電子顯微鏡,蔡司(德國)鎢絲陰極、場發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡,JEOL(日本電子)各類電鏡,日立(日本)各系列電鏡、臺式電鏡,TESCAN泰斯肯(捷克)各系列電鏡,還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理,提高成像質(zhì)量、增強(qiáng)導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。
離子濺射儀性能指標(biāo)及各系統(tǒng)組成 |
項(xiàng)目 | 說明 |
產(chǎn)品名稱 | 自動低溫磁控離子濺射儀 |
型號 | TZZN-1000DCK,TZZN-100,TZZN-200 |
容積、重量和尺寸 | |
艙室尺寸 | φ150X110 (mm),φ108X135毫米 |
外形尺寸 | 主機(jī):約450X330X235mm;包裝尺寸:560X450X345 真空泵: 約480X135X200;包裝尺寸:580X215X367mm |
重量 | 43㎏ |
噪音 | 65db以內(nèi)(離機(jī)臺正面1米并離地面1.2米處測量) |
功率 | 約500W |
電流 | 約10A |
供電條件和電源
| AC220V +保護(hù)接地 電壓允許波動范圍:10% 頻率允許波動范圍:(50±0.5)HZ TN-S方式供電或TT方式供電 保護(hù)地線接地電阻小于4Ω |
性能指標(biāo)保證 | |
功能保障 | 1.(空氣)室內(nèi)空間潔凈干燥; 2.可選配純凈氬氣氣源 3.按流程操作 |
理論膜厚計(jì)算 | 涂層的厚度 一般來說,用于掃描樣品時(shí)金屬的厚度為100—300 ?,經(jīng)驗(yàn)的厚度測定可由下面的公式得到: d=KIVt 其中d是以“?!睘閱挝坏腻兡ず穸?。 K是常數(shù),取決于濺射金屬和所充氣體,此時(shí)靶與樣品之間的距離大約是5cm。 I是等離子流的單位mA。 V是以“KV“為單位所施電壓(1.68KV)。 t是以秒為單位的時(shí)間。 采用金靶和氬氣時(shí)K為0.17,如用空氣K為 0.07。因此對于典型的濺射。 例如:I為8mA,t為100秒則,d=KIVt=0.17′8′100=136 ? 即每秒1.36 ? 濺射速度依賴于濺射系統(tǒng)本身的清潔程度,因此保護(hù)工作室的清潔十分重要。
|





服務(wù)承諾
1. 質(zhì)保期限:
到貨之日起,為期一年。
2. 安裝調(diào)試:
(1.)提供視頻安裝資料,電話和微信遠(yuǎn)程指導(dǎo)安裝和調(diào)試。
(2.)上門安裝調(diào)試(需協(xié)商)
3. 可提供的服務(wù)方式:
熱線應(yīng)答:由專業(yè)工程師通過溝通、幫助、指導(dǎo)、解決、排除故障
現(xiàn)場服務(wù):由工程師在最短的時(shí)間內(nèi)到達(dá),以最快的方式排除故障。(需協(xié)商)
人性化服務(wù):尊重以人為本的服務(wù)理念,提供超過客戶期望值的服務(wù)。
遠(yuǎn)程服務(wù):在客戶授權(quán)的前提下,通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程指導(dǎo)技術(shù)人員在客戶現(xiàn)場處理。
定期巡檢服務(wù):不定期由公司領(lǐng)導(dǎo)和ZS工程師帶隊(duì),對客戶進(jìn)行巡檢,廣泛征求意見以求客戶滿意化。
4. 包裝及運(yùn)輸方式:
1.包裝:滿足QB/BWD008-2001之要求的運(yùn)輸包裝箱
2.輸方式:公路貨運(yùn)物流
升級型 低溫磁控型



上傳人:天澤智能科技發(fā)展(天津)有限責(zé)任公司
大小:0 B
331
報(bào)價(jià):面議
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108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 描述 108離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。 主要特性 l 通過GX低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。 l 操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。 l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度。 l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和ZJ的鍍膜效果。 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。
整體含濺射主機(jī)和真空系統(tǒng)組成,濺射靶頭被設(shè)置成為一個(gè)二級濺射結(jié)構(gòu),通過均勻恒定的電場激發(fā)并電離氣體分子,形成穩(wěn)定的輝光放電現(xiàn)象,被電離的離子和電子在這個(gè)電場下進(jìn)行加速,從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層 配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家: 熱電(美國原荷蘭)FEI鎢絲陰極、場發(fā)射、飛納臺式等各類型電子顯微鏡,蔡司(德國)鎢絲陰極、場發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡,JEOL(日本電子)各類電鏡,日立(日本)各系列電鏡、臺式電鏡,TESCAN泰斯肯(捷克)各系列電鏡,還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理,提高成像質(zhì)量、增強(qiáng)導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。
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