離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀濺射需要：

1、離子濺射儀濺射材料

金為較為常用的濺射材料，其有著較高的導(dǎo)電性。噴金儀擁有越高的真空度，就會(huì)濺射越小的金屬顆粒，能夠使得樣品表面形貌失真的情況減少。當(dāng)需要超高分辨率成像時(shí)，高真空噴金儀被shou先選擇，同時(shí)如鉻，銥等其它濺射材料也能夠被選用，有著更為細(xì)小的濺射的晶粒。

2、離子濺射儀需要濺射噴金的樣品：

（1）、一類樣品為非導(dǎo)電的樣品，因?yàn)闃悠凡粚?dǎo)電，“電子陷阱”為其表面所帶有，該種表面上的電子積累被叫做“充電”。為了使得荷電效應(yīng)消除，能夠?qū)⒁粚咏饘賹?dǎo)電層鍍?cè)跇悠繁砻?，鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電通道，從材料表面將充電電子轉(zhuǎn)移走，使荷電效應(yīng)消除。在掃描電鏡成像時(shí)，濺射材料能夠使信噪比增加，從而使更好的成像質(zhì)量獲得。

（2）另外一類樣品為電子束敏感的樣品，生物樣品，塑料樣品等為所包含的主要樣品，較高能量為SEM中的電子束所具有，在和樣品的相互作用過程中，其將部分能量通過熱的形式傳遞給樣品。若樣品為對(duì)電子束敏感的材料，那該種相互作用會(huì)對(duì)部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)加以破壞。該種情況下，一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層被采用就能夠使得對(duì)鍍層的保護(hù)作用起到，使得該類損傷得以避免。