靜態(tài)法的壓力傳感器
靜態(tài)容量法的吸附量測量精度與壓力測量精度直接相關(guān),因此,要采用高精度的壓力測量方法過去使用有毒的汞壓力計或油壓力計,目前一般使用高精度的電容器型壓力傳感器壓力計內(nèi)被Inconel薄膜隔成兩個室這種壓力計有壓力型和壓力差型
壓力型壓力計內(nèi)部室保持在10-7Torr(1Torr=133.322Pa)的真空薄膜上有塊陶瓷片,在陶瓷片上沉積兩個同心圓金屬電極,由薄膜和兩個金屬電極構(gòu)成兩個電容器,這兩個電容器并聯(lián)當(dāng)薄膜兩側(cè)空間產(chǎn)生壓力差時,薄膜彎曲,在膜ZX和膜邊緣的兩個電容器的電容量發(fā)生變化于是,橋式電路(電容器是其中的一部分)的阻抗發(fā)生變化,它輸出的直流信號就反映了壓力的變化對Zda測量壓力為1Torr(133.322Pa)的傳感器,它的測量靈敏度為1×10-6Torr,薄膜Zda彎曲為0.3mm但是,由于溫度變化引起材料膨脹或收縮,傳感器的幾何結(jié)構(gòu)發(fā)生改變,所以溫度每變化1,產(chǎn)生的誤差約為Zda測量壓力的0.004%
因此,在高精度測量時,壓力傳感器也要恒溫此外,測量精度還可能隨時間變化,**每年校正一次有些傳感器還耐氣體腐蝕,這時必須知道可測量的氣體電容器型壓力傳感器的預(yù)熱時間需要1天半導(dǎo)體應(yīng)變型傳感器的測量精度低很多,但價格便宜,可作為輔助方法使用 HYA多路比表面積及孔徑分布測試儀 HYA石墨比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA六路靜態(tài)容量法比表面及孔隙度分析儀 HYA雙站比表面積及孔隙率分析測試儀 HYA靜態(tài)容量法比表面積及孔徑分析儀 HYA比表面積及孔隙度分析儀 HYA智能比表面積分析儀 HYA4路靜態(tài)容量法比表面積及孔結(jié)構(gòu)分析儀 HYA單路靜態(tài)容量法比表面積及孔隙度測試儀 HYA比表面積及孔隙率測試儀 HYA比表面積測試儀 6路靜態(tài)法比表面積分析儀 6路比表面積及孔隙度分析儀 多路高智能比表面積測試儀 智能比表面儀 智能比表面儀 HYA孔徑測試儀\孔徑分布測試儀 HYA智能銀粉比表面積測試儀\比表面積分析儀 HYA鐵粉比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA催化劑比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA高智能吸附劑比表面積測試儀\比表面積分析儀 HYA智能納米材料比表面積測試儀\比表面積分析儀 HYA氧化鋅比表面積測試儀\比表面積分析儀 HYA比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA高智能催化劑比表面積測試儀\比表面積分析儀 HYA智能石墨比表面積測試儀\比表面積分析儀 HYA氧化硅比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA孔徑測試儀\孔徑分布測試儀 HYA電池材料比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA比表面積測定儀\比表面積測量儀 HYA氧化鈦比表面積測試儀\比表面積分析儀 HYA智能BET比表面積測試儀\比表面積分析儀 全自動比表面儀 比表面積儀 智能比表面積儀 全自動比表面積儀
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