伯東公司成立于1953年,范圍內(nèi)有一千七百名員工伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設(shè)備電子零部件加工銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團年營業(yè)額約為100億人民幣伯東公司在國內(nèi)主要城市:北京蘇州廣州深圳成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大ZG客戶提供世界yi流的真空產(chǎn)品推動ZG真空工藝發(fā)展承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)半導 分子束外延(MBE)是一種晶體生長技術(shù),將半導體襯底放置在超高真空腔體中,和將需要生長的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中,由分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的,可薄至單原子層水平,單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu)
分子束外延主要研究的是不同結(jié)構(gòu)或不同材料的晶體和超晶格的生長該方法生長溫度低,能嚴格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度
分子束外延系統(tǒng)對真空度要求及其高,對真空腔體的密封性材料放氣率微量雜質(zhì)氣體和水蒸氣比較敏感,本系統(tǒng)采用上海伯東德國 Pfeiffer 殘氣質(zhì)譜儀 QMG 對超高真空腔體進行檢漏,及材料放氣組分及水汽進行分析,確保超高真空及真空的穩(wěn)定性,對晶格的生長起到很好的作用 伯東公司德國普發(fā)Pfeiffer 普發(fā)質(zhì)譜分析儀 HiCube RGA
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