1. 腔體:140*200*110;多種腔體定制。
2. 發(fā)生器: 100W,20-100KHz;多種功率發(fā)生器定制。
3. 控制器:7英寸觸摸屏,自動&手動控制 。
4. 體積:580*580*340。
選配:石英腔體(直徑100*200mm);多種石英腔體定制
RIE模式,雙模工作,多組電極設(shè)計
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