安東帕表面力學(xué)測(cè)試平臺(tái)Step
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安東帕比表面和孔徑分析儀:Nova系列
納米壓痕測(cè)試儀Hit 300
市場(chǎng)上的納米劃痕測(cè)試儀
主要特點(diǎn)
納米劃痕測(cè)試儀帶有載荷傳感器,采用雙懸臂梁用于施加載荷,以及壓電式驅(qū)動(dòng)器用于對(duì)施加的載荷快速響應(yīng)。這一設(shè)計(jì)理念還修正了在劃痕過(guò)程中發(fā)生的任何事件(例如出現(xiàn)裂紋和故障、缺陷或樣品不平整)而導(dǎo)致的測(cè)量結(jié)果偏差。
在劃痕之前、過(guò)程和之后,位移傳感器 (Dz) 一直記錄樣品的表面的輪廓。這讓您可以在劃痕過(guò)程中或之后評(píng)估針尖的位移量,從而可以評(píng)估材料的彈性、塑性和粘彈性能(:US 6520004)
閉環(huán)主動(dòng)力反饋系統(tǒng)可在 1 μN(yùn) 以下進(jìn)行更精確的納米劃痕測(cè)試。納米劃痕測(cè)試儀包含一個(gè) 傳感器測(cè)量載荷,可以直接反饋給法向載荷驅(qū)動(dòng)器。這確保施加的載荷就是用戶設(shè)置的載荷。
集成顯微鏡包括配置高質(zhì)量物鏡的轉(zhuǎn)塔和 USB 照相機(jī)。劃痕成像時(shí),能輕松將放大倍數(shù)從 x200 轉(zhuǎn)換為 x4000,實(shí)現(xiàn)在低放大倍數(shù)和高放大倍數(shù)自由切換從而更好地對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估?!案櫨劢埂惫δ芸梢赃M(jìn)行將多個(gè)劃痕的 Z 樣品臺(tái)自動(dòng)聚焦到正確位置。
劃痕后,您可以在軟件中用時(shí)間增量定義無(wú)限次后掃描測(cè)量殘余位移。這種全新的分析方法將讓您進(jìn)一步了解表面變形性能與時(shí)間的依賴關(guān)系。
技術(shù)指標(biāo)
| 施加的載荷 | |
|---|---|
| 分辨率 | 0.01 μN(yùn) |
| 最大載荷 | 1000 mN |
| 本底噪音 | 0.1 [rms] [μN(yùn)]* |
| 摩擦力 | |
| 分辨率 | 0.3 μN(yùn) |
| 最大摩擦力 | 1000 mN |
| 位移 | |
| 分辨率 | 0.3 nm |
| 最大位移 | 600 μm |
| 本底噪音 | 1.5 [rms] [nm]* |
| 速度 | |
| 速度 | 從 0.4 mm/min 到 600 mm/min |
*理想實(shí)驗(yàn)室條件下規(guī)定的本底噪音值,并使用減震臺(tái)。
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KLA iMicro 納米壓痕儀可輕松測(cè)量硬涂層,薄膜和少量材料。該儀器準(zhǔn)確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級(jí)測(cè)試等多種納米級(jí)機(jī)械測(cè)試。可互換的驅(qū)動(dòng)器能夠提供大的動(dòng)態(tài)范圍的力荷載和位移,使研究人員能夠?qū)浘酆衔锏接操|(zhì)金屬和陶瓷等材料做出詳盡及可重復(fù)的測(cè)試。模塊化選項(xiàng)適用于各種應(yīng)用:材料性質(zhì)分布、特定頻率測(cè)試、刮擦和磨損測(cè)試以及高溫測(cè)試。
KLA iNano 納米壓痕儀可輕松測(cè)量薄膜、涂層和少量材料。該儀器準(zhǔn)確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級(jí)測(cè)試等多種納米級(jí)機(jī)械測(cè)試。該儀器的力荷載和位移測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍很大,因而可以實(shí)現(xiàn)從軟聚合物到金屬材料可重復(fù)測(cè)試。模塊化選項(xiàng)適用于各種應(yīng)用:材料性質(zhì)分布、特定頻率測(cè)試、刮擦和磨損以及高溫測(cè)試。KLA iNano 納米壓痕儀提供了一整套測(cè)試擴(kuò)展選項(xiàng),包括樣品加熱、連續(xù)剛度測(cè)量、
KLA公司全系列的力學(xué)測(cè)試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器, iNano臺(tái)式納米壓痕儀。對(duì)納米壓痕物理模型和優(yōu)線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解,以及良好的靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)。
透射電鏡多尺度、多視角(明、暗場(chǎng)像,電子衍射, 化學(xué)成分)的實(shí)驗(yàn)分析能力,基于透射電子顯微鏡的原位微納米力學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器。
為了滿足現(xiàn)代材料研究的挑戰(zhàn),Swift開(kāi)發(fā)了一系列完全可定制的原位拉伸試樣臺(tái)。這些拉伸試樣臺(tái)適合多種顯微觀測(cè)系統(tǒng),比如掃描電鏡、透射電鏡、光學(xué)顯微鏡、共聚焦顯微鏡等。
NanoFlip產(chǎn)品既可以工作在真空環(huán)境下進(jìn)行各種原位力學(xué)測(cè)試;也可以直接在大氣環(huán)境下測(cè)試。NanoFlip可進(jìn)行硬度和楊氏模量測(cè)試、連續(xù)剛度測(cè)試(CSM)、力學(xué)性能譜圖(Mapping)、納米動(dòng)態(tài)力
FT-NMT04納米機(jī)械測(cè)試系統(tǒng)是一種多功能的原位掃描電鏡/光纖納米壓頭,能夠準(zhǔn)確量化材料在微觀和納米尺度上的力學(xué)行為。
InSEM HT(高溫)通過(guò)在真空環(huán)境中單加熱尖端和樣品來(lái)測(cè)量高溫下的硬度、模量和硬度。INSEM?HT與掃描電子顯微鏡(SEM)和聚焦離子束(FIB)或立真空室兼容。