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日常使用的SEM,好用! 該設(shè)備ZG分辨率1nm、ZD探針電流300nA(之前的15倍),可提供豐富的觀測(cè)和分析信息,用戶(hù)界面操作簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)緊湊、配備大樣品室。
JSM-IT800的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡通用性強(qiáng),可廣泛應(yīng)用于納米材料、金屬材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)化工、醫(yī)學(xué)及生物學(xué)領(lǐng)域,可GX觀察包括非導(dǎo)體樣品及強(qiáng)磁性樣品等。 JSM-IT800SHL分辨率可達(dá)0.5nm,成像能力強(qiáng)大。浸沒(méi)式電子槍可提供500nA大電流,EDS和EBSD分析速度極快。 另外JSM-IT800系列還搭載了眾多全新研發(fā)的電子光學(xué)技術(shù),自動(dòng)化程度極高。
JPS-9030 光電子能譜儀 JPS-9030配有靜電透鏡和分析器等JEOL多年的成功技術(shù),具有高靈敏度和高分辨率,設(shè)計(jì)緊湊。特別是低加速電壓和大束流離子槍使這款光電子能譜儀可以對(duì)不同厚度的薄膜進(jìn)行樣品表面原子層到微米級(jí)厚度樣品層分析。樣品室和刻蝕室真空是完全獨(dú)立的,杜絕了污染,更好的保護(hù)超真空系統(tǒng)。
JAMP-9510F這款場(chǎng)發(fā)射俄歇電鏡具有世界上zui高的空間分辨率:zui小束斑直徑3nm(二次電子圖像)和8nm(俄歇電子圖像)。使用多通道探頭的新的半球靜電能量分析器(HAS)優(yōu)化了俄歇分析,適合化學(xué)態(tài)分析。中性離子槍可用于絕緣材料的俄歇分析。樣品臺(tái)可裝直徑達(dá)95nm的樣品。并且此儀器可擴(kuò)展為UHV-SEM。
JEM-ARM300F2是GRAND ARMTM的第二代產(chǎn)品,該設(shè)備在性能上有了進(jìn)一步的提高,無(wú)論采用怎樣的加速電壓都能獲得超高空間分辨率圖像和高靈敏度的元素分析。
以節(jié)能環(huán)保、減排低碳為理念開(kāi)發(fā)的JEM-F200場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡,不僅提高了空間分辨率和分析性能,還采用了新的操作系統(tǒng)可滿(mǎn)足多種使用途徑,易用性強(qiáng),外觀設(shè)計(jì)精煉,能為不同層次的用戶(hù)提供新奇的操作體驗(yàn)。
用于光學(xué)薄膜及電極膜等各種薄膜形成的電子束蒸鍍用電子槍/電源。
軟X射線(xiàn)分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過(guò)組合新開(kāi)發(fā)的衍射光柵和高靈敏度X射線(xiàn)CCD相機(jī),實(shí)現(xiàn)了極高的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測(cè),并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的極高能量分辨率進(jìn)行分析,超過(guò)了WDS的能量分辨率。