The Hysitron PI 89 掃描電鏡聯(lián)用納米壓痕儀利用掃描電子顯微鏡（SEM、FIB/SEM）的成像能力，可以在成像的同時進(jìn)行定量納米力學(xué)測試。這套全新系統(tǒng)搭載 Bruker 領(lǐng)先的電容傳感技術(shù)，繼承了引領(lǐng)市場的一批商業(yè)化原位 SEM 納米力學(xué)平臺的優(yōu)良功能。該系統(tǒng)可實現(xiàn)包括納米壓痕、拉伸、微柱壓縮、微球壓縮、懸臂彎曲、斷裂、疲勞、動態(tài)測試和力學(xué)性能成像等功能。

特點

Hysitron PI 89的緊湊設(shè)計允許大角度樣品臺傾斜，以及測試時成像的更小工作距離。PI 89為研究者提供了比競爭產(chǎn)品更廣闊的適用性和性能：

• 重新設(shè)計的結(jié)構(gòu)增加適用性和易用性 

• 1 nm精度的線性編碼器實現(xiàn)更大范圍下更好的自動測試定位重復(fù)性

• 更高的框架剛度(~0.9 x 106 N/m)提供測試過程更好的穩(wěn)定性

• 兩種旋轉(zhuǎn)/傾斜模式實現(xiàn)城鄉(xiāng)、FIB加工、以及各種探測器的聯(lián)用，包括EDS, CBD, EBSD, and TKD等。

Hysitron PI 89利用布魯克先進(jìn)的亞納米尺度傳感器和壓電力驅(qū)動結(jié)構(gòu)實現(xiàn)真正的位移控制和載荷控制測試：

• 在固有位移控制模式中，壓電驅(qū)動器實現(xiàn)預(yù)設(shè)位移率的位移控制，同時力傳感器測量力。

• 在真載荷控制模式下，力傳感器直接通過靜電力加載，同時通過三板電容測量位移。

• 傳感器的超低電流設(shè)計使得溫漂盡量小，實現(xiàn)靈敏的載荷和位移測量。