NanoFlip In SEM/FIB
      KLA InSEM 系列可以和各個SEM和FIB廠商的主流型號聯(lián)合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。
      電磁力驅(qū)動載荷激發(fā)器
      KLA 公司全系列的力學測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動原理的加載力激發(fā)器。對納米壓痕物理模型和最優(yōu)線性特性的電磁力驅(qū)動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計，保證全系列納米力學產(chǎn)品在整個量程范圍內(nèi)均能得到高精準、高分辨的控制。
       KLA InSEM 系列：超前的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計，完全實現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測，實現(xiàn)納米壓痕檢測，包括動態(tài)力學測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。
        InForce50 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器
? zui大加載載荷： 50mN
? 縱向載荷分辨率： 3nN
? 壓頭zui大移動范圍：45um
? 位移噪音背景: <0.01nm
? 位移數(shù)字分辨率： <0.002nm
         InForce1000 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器
? zui大加載載荷： 1000mN
? 縱向載荷分辨率： 6nN
? 壓頭zui大移動范圍：80um
? 噪音背景: <0.1nm
? 位移數(shù)字分辨率： <0.004nm
NanoFlip 的樣品臺處于“Up”狀態(tài)時，SEM/FIB 可以方便的觀察樣品和進行微區(qū)定位，當樣品臺處于“Down”狀態(tài)時，SEM/FIB 又可以對整個力學實驗過程進行實時觀察并進行實時的視頻捕捉。
        數(shù)據(jù)采集 數(shù)據(jù)采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )
 業(yè)內(nèi)響應時間zui快、數(shù)據(jù)采集率zui高的控制系統(tǒng)，完美實現(xiàn)
材料瞬間變化的捕捉:
? 數(shù)據(jù)zui高采集率：100kHz
? 控制器時間常數(shù)：20us
高精度的納米馬達臺
? X 向zui大行程：20 mm
? Y 向zui大行程：20 mm
? Z 向zui大行程：25 mm
? Encoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm
      橫向加載控制
      NanoFlip 可提供 Gemini 雙子星選件，業(yè)內(nèi)真正實現(xiàn)原位橫向力和橫向位移的直接測量，業(yè)內(nèi)在納米尺度上精準的實現(xiàn)多維度的磨損測試，實現(xiàn)多維度的動態(tài)力學
      工作模式：
? 測量材料的摩擦系數(shù)或泊松比
? 精確的載荷、位移、動態(tài)響應在橫向和縱向的控制
? 多維度的硬度、磨損、黏附性的精準測量
? 亞納米級移動精度的樣品臺，實現(xiàn)精確定位
? S次實現(xiàn)橫向的納米和納牛級的準靜態(tài)和動態(tài)測試
        KLA 全系列的 InSEM 產(chǎn)品的動態(tài)測試附件是由連續(xù)剛度專利技術(shù)的發(fā)明人研發(fā)的：動態(tài)力學測試原理為在準靜態(tài)加載過程中，施加在壓頭上一個正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載荷、時間或者頻率的變化材料力學性能的變化：
? 動態(tài)激發(fā)頻率：0.1Hz-1000Hz
? 單次動態(tài)力學測試可以代替>100 次靜態(tài)力學測試結(jié)果
? 在微小的力和位移測試下提供超精準的動態(tài)力學測試
? 實現(xiàn)檢測高分子材料的復合彈性模量
? 實現(xiàn)檢測軟材料蠕變性能
        原位快速表面 表面 3D 力學 力學性能 性能 Mapping 功能
? 快速的樣品表面硬度和楊氏模量的 Mapping 功能。
? 同時給出不同成分的力學結(jié)果的統(tǒng)計數(shù)據(jù)。
? 不受樣品表面粗糙度和其它因素的影響
        原位快速表面4D力學性能性能Mapping功能
        KLA 的 NanoBlitz 4D 再次極大的擴展了 已經(jīng)得到全行業(yè)認可的連續(xù)剛度測試功能（ Continuous Stiffness
Measurement ) ，可以快速獲取到樣品硬度和楊氏模量在 XY向上的分布情況以及由表往里隨樣品壓入深度的變化情況，
用戶通過自定義恒應變速率，非?？焖?7s/點)的對各種樣品和復合材料進行力學研究，也可以應用于各種失效分析