準分子燈是一種以準分子氣體為發(fā)光介質(zhì)的真空紫外/深紫外光源，通過高壓放電激發(fā)特定混合氣體（如氙、氪、氬與鹵素的組合）形成不穩(wěn)定的準分子，準分子衰變時會釋放出單一波長的高強度紫外光子。它的核心特點是波長單一且可精準調(diào)控（常見波長包含172nm、222nm、308nm等），光子能量高，能實現(xiàn)裂解化學鍵、殺菌消毒、表面改性等特殊功能，廣泛應用于半導體加工、精密清洗、醫(yī)療光療、環(huán)保降解等領域。

在半導體光刻、尖端材料表面改性、深紫外光清洗及高效臭氧生成等領域，172納米（nm）波段的真空紫外線正扮演著越來越關(guān)鍵的角色。然而，長期以來，一個核心痛點制約著該技術(shù)的精準化與產(chǎn)業(yè)化發(fā)展：如何對172nm這一特殊且極具挑戰(zhàn)性的波長進行準確、可靠且便捷的功率測量？

近日，速德瑞成功交付了一臺為客戶深度定制的172nm專用紫外輻照計。這不僅是速德瑞在深紫外測量領域技術(shù)實力的又一次飛躍，更是對準分子燈全產(chǎn)業(yè)鏈，從光源研發(fā)、生產(chǎn)校準到終端應用的一次重磅賦能。

速德瑞此次交付的定制款172nm輻照計，為解決用戶需求而設計：

l 核心光學系統(tǒng)：確保172nm光高效、無損耗地傳輸至探測器。

l 專屬探測與濾波：精密濾光片，僅對172nm附近波段具有高響應度，有效屏蔽其他波長干擾。

l 堅固與便攜性：儀器結(jié)構(gòu)堅固，兼顧實驗室的精準與工業(yè)現(xiàn)場的耐用需求，搭配直觀的觸摸屏和數(shù)據(jù)記錄功能。

這臺專業(yè)的測量儀器，將成為推動準分子燈技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵“標尺”：

1.對準分子燈制造商：

l 研發(fā)優(yōu)化：精確測量172nm數(shù)據(jù)并輸出，加速新品研發(fā)與性能優(yōu)化。

l 生產(chǎn)質(zhì)檢：實現(xiàn)出廠產(chǎn)品的標準化功率檢測，建立質(zhì)量信譽，提升產(chǎn)品附加值。

l 壽命測試：客觀監(jiān)測燈源在長期運行中的光衰情況，為壽命評估提供核心數(shù)據(jù)。

2.對下游應用客戶：

l 工藝控制：在紫外光清洗、光氧化等應用中，精確控制輻照劑量，是保證清洗效果或反應程度一致性的關(guān)鍵。

l 設備維護：定期監(jiān)測燈管輸出，預測性更換燈源，避免因光源衰減導致的工藝失敗或產(chǎn)品批量缺陷。

l 工藝開發(fā)：為新材料、新工藝的研發(fā)提供可量化、可復現(xiàn)的光源參數(shù)，縮短研發(fā)周期。

此次172nm紫外輻照計的成功交付，并非偶然。它源于速德瑞在紫外、可見、紅外全光譜測量領域長達十余年的技術(shù)積淀，以及對客戶個性化需求的深刻理解。從常見的UVA、UVB、UVC波段測量，到如今的172nm真空紫外極限挑戰(zhàn)，速德瑞始終致力于為科研與工業(yè)客戶提供最可靠的“光之度量衡”。

我們相信，精準的測量是先進制造的基礎。速德瑞將持續(xù)聚焦紫外測量技術(shù)的深耕與創(chuàng)新，針對更多特殊波長、特殊場景的測量需求，提供從核心傳感器到完整檢測系統(tǒng)的定制化服務，助力前沿制造產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)更高精度、更穩(wěn)定可靠的工藝控制。

如需進一步了解定制化測量方案，歡迎隨時聯(lián)系我們。