氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見(jiàn)的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測(cè)極ng準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。

氦質(zhì)譜檢漏儀的發(fā)展

　　從20世紀(jì)60年代開(kāi)始，氦質(zhì)譜檢漏儀被廣泛應(yīng)用于航天、電子、原子能、制冷、電力、化工、汽車及食品等各個(gè)行業(yè)。特別是原子能、航天技術(shù)的發(fā)展，使氦質(zhì)譜檢漏儀得到了飛速的發(fā)展。從早期的噴吹法開(kāi)始，到如今己有了氦罩法、吸槍法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、吸槍累積法、背壓法及前級(jí)泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏儀。

　　1956年，Schumacher開(kāi)始研究背壓檢漏，并將它應(yīng)用到密閉電子器件的檢漏中去。1973年。Howl先生對(duì)背壓檢漏方法進(jìn)行了詳盡的數(shù)學(xué)分析，他推導(dǎo)的漏率計(jì)算公式就是現(xiàn)在使用的背壓檢漏用的經(jīng)典公式。

　　在國(guó)內(nèi)，從20世紀(jì)60年代末開(kāi)始，蘭州物理所開(kāi)展了大容器檢漏方法研究，將擬質(zhì)譜檢漏技術(shù)應(yīng)用于衛(wèi)星環(huán)模設(shè)備、鐵路運(yùn)輸液氫槽車、運(yùn)載火箭氫氧液體燃料箱等大型容器的檢漏中。1996年，北京衛(wèi)星制造廠閏治平等人采用氦質(zhì)譜的非真空收集法對(duì)衛(wèi)星整體進(jìn)行檢漏。近年來(lái)，曹輝玲等人將前級(jí)泵出口采樣法應(yīng)用于電力工業(yè)及其他大型真空設(shè)備的檢漏中，采用特制的油污過(guò)濾裝置對(duì)氦具有和積累作用，提高了檢漏靈敏度?，F(xiàn)在，氦質(zhì)譜檢漏儀己成為迄今Z靈敏、Z有效、Z方便也是應(yīng)用Z廣的檢漏手段。

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇

　　選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問(wèn)題：

　　1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能，就不適合吸槍法檢漏;有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度，此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。

　　2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。

　　3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的檢漏儀。

　　4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。

　　5、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。

　　6、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。

　　7、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問(wèn)題。

氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展

　　在科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展的時(shí)代，氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷的發(fā)展與完善。這主要由兩方面的因素所決定：一方面，檢漏應(yīng)用技術(shù)不斷的對(duì)檢漏儀提出新的要求，迫使氦質(zhì)譜檢漏儀自身的更新;另一方面，檢漏技術(shù)也在隨時(shí)隨地補(bǔ)充現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀在應(yīng)用過(guò)程中存在的某些不足，因此二者的關(guān)系是相互補(bǔ)充、相互促進(jìn)的。經(jīng)過(guò)半個(gè)多世紀(jì)的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：

　　1、便攜式：Z近各國(guó)推出的小型便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

　　2、高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

　　3、自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。

　　4、全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

　　5、檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。