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高真空顯微鏡NX-Hivac 高真空原子力顯微鏡
Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比,高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度好、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)。
原子力顯微鏡 NX-Wafer 全自動(dòng)晶圓檢測(cè)原子力顯微鏡
高精度探針針尖變量的亞埃米級(jí)表面粗糙度測(cè)量,晶圓的表面粗糙度對(duì)于確定半導(dǎo)體器件的性能是至關(guān)重要的,對(duì)于先進(jìn)的元件制造商,芯片制造商和晶圓供應(yīng)商都要求對(duì)晶圓商超平坦表面進(jìn)行更精確的粗糙度控制。
全自動(dòng)顯微鏡 NX-HDM 全自動(dòng)缺陷檢測(cè)原子力顯微鏡
對(duì)于工程師來(lái)說(shuō),識(shí)別介質(zhì)/平面基底的納米級(jí)缺陷的任務(wù)是一個(gè)非常耗時(shí)的過(guò)程,Park NX-HDM原子力顯微鏡系統(tǒng)可以自動(dòng)缺陷識(shí)別,通過(guò)與各種光學(xué)儀器的聯(lián)用可以提高缺陷檢測(cè)效率。
可旋轉(zhuǎn)顯微鏡 NX-3DM 可旋轉(zhuǎn)全自動(dòng)原子力顯微鏡
Park Systems推出NX-3DM全自動(dòng)原子力顯微鏡系統(tǒng),專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角的測(cè)量而設(shè)計(jì)。
電學(xué)原子力 Nano observer 電學(xué)原子力顯微鏡
CSI是一家法國(guó)科學(xué)設(shè)備制造商,擁有專業(yè)的AFM設(shè)計(jì)概念,以及為現(xiàn)有的AFM提供設(shè)計(jì)選項(xiàng)。它避免了激光對(duì)準(zhǔn)需要預(yù)先定位針尖的系統(tǒng),針尖/樣品的頂部和側(cè)視圖,結(jié)合垂直的馬達(dá)控制系統(tǒng),使預(yù)先趨近更加容易。
電鏡原位原子力 EM-AFM 電鏡原位原子力顯微鏡
EM-AFM可在SEM中同時(shí)提供原子力顯微鏡成像和納米機(jī)械測(cè)量。它綜合了這兩種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn),可高速獲得高分辨率的三維圖像,并且在微納米和亞納米尺度上實(shí)時(shí)觀察納米級(jí)力的相互作用,與常規(guī)SEM/FIB兼容,
Accurion RSE 快速晶圓檢測(cè)
Accurion RSE 快速晶圓檢測(cè)