電子級超純水系統(tǒng)概述

電子級超純水系統(tǒng)是指電子行業(yè)中使用的從原水至超純水完整產(chǎn)生的純化水生產(chǎn)系統(tǒng)，應(yīng)用蒸餾、反滲透技術(shù)、去離子化或其它適當(dāng)?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水，水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒等有機物其產(chǎn)出的水是一般工藝很難達到的程度。

電子級超純水系統(tǒng)能夠滿足半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需要的大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

電子級超純水系統(tǒng)特點

電子工業(yè)超純水系統(tǒng)通常由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵設(shè)有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC，及通信遠程輸送至中控室上位機，實現(xiàn)現(xiàn)場就地和集中控制兩種操作方式，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。

電子級超純水系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域

1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；

2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水；

4、汽車、家電表面拋光處理；

5、光電子產(chǎn)品；

6、其他高科技精微產(chǎn)品。

電子行業(yè)專用超純水系統(tǒng)工藝流程

1、預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點。

2、預(yù)處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點。

3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點。

4、預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點。

5、水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)。

6、超純水系統(tǒng)反滲透(膜分離)法超純水制造技術(shù)

電子行業(yè)用超純水系統(tǒng)的工藝流程

反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。