在近代物理學(xué)中，等離子體為一種較為普通的概念，為在一定程度上被電離（電離度比0.1%要大）的一種氣體，其中陽離子與電子的濃度處于平衡狀態(tài)，從宏觀上來講，是一種呈電中性的物質(zhì)。利用電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，通過處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時(shí)發(fā)射的特征譜線分析待測元素的儀器，被稱為電感耦合等離子發(fā)射光譜儀。

性能：

1、ICP-AES法蒸發(fā)、原子化和激發(fā)能力比較高，并且是無電極放電，無電極沾污。因?yàn)榈入x子體光源高溫非同尋常（炎炬溫度達(dá)到10000攝氏度，樣品區(qū)的溫度也超過了6000攝氏度），一般分析方法的化學(xué)干擾、基體干擾能夠被避免，相比于其它光譜分析方法，有著較為低的干擾水平。相比于通常的化學(xué)火焰，等離子體焰炬的溫度更加的高，可以原子化、激發(fā)通?；瘜W(xué)火焰不容易激發(fā)的元素，因此對于測定不容易激發(fā)的元素非常的有幫助。并且難熔的金屬氧化物在Ar氣氛中不太容易生成，從而不能夠顯著地影響基體效應(yīng)和共存元素，不少能夠直接進(jìn)行操作和簡單實(shí)用地進(jìn)行分析。

2、溶液進(jìn)樣分析方法的穩(wěn)定性和測量精度為ICP-AES法所具有，相較于濕式化學(xué)法，ICP-AES法的分析精度差不多高，并且有著相當(dāng)好的檢出限，檢出限比1毫克/升還要低的元素很多。現(xiàn)代的ICP-AES儀器有著低于1%的測定精度RSD。與此同時(shí)，ICP溶液分析方法能夠采用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)加以校正，可溯源性為其所具有，非常多的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的定值已經(jīng)采用它，其被ISO列為標(biāo)準(zhǔn)分析方法。

3、ICP-AES法采用相應(yīng)的進(jìn)樣技術(shù)能夠直接分析液態(tài)樣品。

4、shou先，ICP-AES法為一種發(fā)射光譜分析方法，能夠同時(shí)對多元素加以測定。僅需使待測原子處于激發(fā)狀態(tài)，就能夠使得各自特征譜線同時(shí)發(fā)射出使測定同時(shí)進(jìn)行。ICP-AES儀器不管為單道掃描亦或是多道直讀，都能夠在同一試樣溶液中對大量元素（30～50個(gè)，甚至更多）進(jìn)行同時(shí)測定。自然界存在的所有元素（不包含He、Ne、Ar、Kr、Xe惰性氣體）的用ICP-AES法測定的報(bào)告均已經(jīng)有了。當(dāng)然，在實(shí)際的應(yīng)用上使用ICP-AES法并不可以方便地測定所有的元素。依然有些元素采用其他分析方法進(jìn)行層比使用ICP-AES法來進(jìn)行測定要來的更加的有效。即便這樣，在元素分析的方法中，ICP-AES法依然是zui為有效的。

5、ICP光源的光相當(dāng)?shù)谋?，有著較小的自吸現(xiàn)象，因此AES法校正曲線的線性范圍能夠達(dá)到5-6個(gè)數(shù)量級，一些儀器甚至能夠達(dá)到7-8個(gè)數(shù)量級，就能夠?qū)?.00n%～n0%的含量同時(shí)進(jìn)行測定。元素濃度與測量信號在大部分情況下呈簡單的線性。不僅能夠?qū)Φ蜐舛瘸煞诌M(jìn)行測量（比毫克/升），又能夠同時(shí)對高濃度成分進(jìn)行測量（幾百或數(shù)千毫克/升），為對ICP-AES多元素同時(shí)測定能力充分發(fā)揮的一個(gè)相當(dāng)有價(jià)值的分析特性。