ICP-MS是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，可以測量溶液中含量在ppb或ppb下的微量元素。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、地質(zhì)、環(huán)境以及生物制藥等行業(yè)中。

一、進(jìn)樣系統(tǒng)維護(hù)

　　1、蠕動泵

　　ICP-MS進(jìn)樣蠕動泵管的好壞直接影響信號的穩(wěn)定性，所以應(yīng)經(jīng)常檢查，定期更換。排廢液管使用期限可以長一些。但也必須經(jīng)常檢查，以防排廢不暢，引起霧室內(nèi)廢液聚集，影響信號并Z終導(dǎo)致等離子體熄火。

　　同時如果管子老化破裂，酸溶液會腐蝕蠕動泵。ICP-MS運(yùn)行期間可以觀察進(jìn)樣管和排廢管內(nèi)的氣泡以判斷進(jìn)出是否正常。如果噴入高濃度的有機(jī)溶劑，應(yīng)該換成有機(jī)溶劑專用泵管。分析完畢切記松開泵管。

　　2、霧化器和霧化室

　　ICP-MS霧化器和霧室應(yīng)定期清洗。注意同心氣動霧化器Z好不要采用超聲波清洗或放在玻璃燒杯中煮沸清洗，以免損壞霧化器內(nèi)注入管。交叉氣動霧化器可以采用超聲波清洗。清洗液可根據(jù)情況采用一般清洗玻璃器皿的洗液，或一定濃度的熱王水或硝酸、鹽酸浸泡清洗，Z后用去離子水充分洗凈。注意不要讓霧室的O型環(huán)接觸到酸液。如霧化室內(nèi)壁出現(xiàn)掛水珠現(xiàn)象，一般可噴入1%的HF溶液1min，但剛噴完后不能立刻分析硼硅等元素。

　　同心霧化器容易出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象，ICP-MS運(yùn)行期間注意觀察內(nèi)標(biāo)元素的信號，如信號明顯降低，而霧化器壓力有顯著變化(增大)，應(yīng)考慮霧化器堵塞的可能性。如霧化器壓力降低，則可能漏氣或霧化器損壞。

　　ICP-MS霧化器的堵塞可能有兩個原因：

　?、俣氯怯捎诤啕}量的樣品中鹽類在霧化器的環(huán)狀氣流通道形成鹽分結(jié)晶引起的。這干擾了霧化器的運(yùn)轉(zhuǎn)，并可能使信號減小，Z終將導(dǎo)致霧化器無法工作。

　　②可能是懸浮固體堵塞在中間的樣品提升細(xì)毛細(xì)管(約0.3mm直徑)中。

　　避免ICP-MS霧化器堵塞的途徑有:

　　①在氬氣管路中安裝一個過濾裝置，在線過濾氬氣瓶或氣路中可能存在的顆粒物;

　?、谶^濾有懸浮物的樣品溶液;

　　③清洗霧化器。可用3%～5%的王水溶液在線清洗。如霧化器噴嘴由于高鹽積累引起的堵塞可以通過清洗解決，如屬于溶液中懸浮顆粒物堵塞，則一般需要疏通。

　　常用的疏通方法有:

　?、僭趪娮焯幗尤雺嚎s空氣(15～30psig)“反吹”噴嘴和環(huán)面，利用手指堵住進(jìn)樣口和載氣口，突然釋放進(jìn)樣口以清除毛細(xì)管顆粒堵塞或突然釋放載氣口以清除載氣顆粒堵塞。

　?、趯⒁欢魏线m的塑料管一頭套在霧化器的出口處，另一頭套在一個裝有蒸餾水的洗瓶的出口端，用手?jǐn)D壓洗瓶，使產(chǎn)生的壓力水柱將堵在管內(nèi)的顆粒物反沖出去。

　?、蹖τ诠桀愵w粒的堵塞，可以使用氫氟酸(HF3%～5%)清洗，吸取清洗液5～10s后立即用清水沖洗。利用顯微鏡檢查堵塞狀況，重復(fù)3～5次。

　　④將ICP-MS霧化器噴嘴浸入濃硝酸，加熱到100℃以上，驅(qū)除毛細(xì)管內(nèi)的清洗液并更換溶液重新清洗，清洗完畢后用蒸餾水清洗、干燥。

　?、葸€有一個比較有效的辦法就是采用一根較硬的人發(fā)絲從霧化器的出口處小心伸進(jìn)去，將顆粒物反捅出去。切忌采用金屬絲或洗滌用毛刷絲或塑料絲。

　　3、炬管及連接管

　　ICP-MS炬管及連接管定期的進(jìn)行清洗：

　　用王水(HNO3:HCl=1:3)浸泡約5~6小時或更長時間，然后用清水沖洗，再用純水沖洗干凈。如用王水無法洗干凈時，可用2%的氫氟酸進(jìn)行浸泡清洗，每隔5分鐘檢查一次，直至清洗干凈。

　　使用前應(yīng)對炬管及連接管進(jìn)行風(fēng)干或烘干。由于矩管和連接管接頭部涂有凡士林，酸泡之前可用無水酒精浸泡10-15分鐘，以去除內(nèi)部的油污;酸泡過程中要隔一段時間換一個方向;玻璃制品易碎，請輕拿輕放。

二、接口維護(hù)

　　ICP-MS采樣錐和截取錐的條件影響信號的靈敏度和背景水平。錐表面的變形將引起采樣過程中等離子體氣流的散射和導(dǎo)致高水平干擾離子的生成。因此，錐表面應(yīng)盡可能保持干凈和平滑。

　　ICP-MS采樣錐是可拆卸更換的，通常用螺釘固定在水冷金屬基座上。鎳采樣錐耐用，通?？墒褂脦讉€月。不過，注意盡量不要將高酸度或高鹽度樣品溶液引入等離子體并保證錐基座和水冷板之間的熱接觸良好。

　　反復(fù)分析10%的硫酸溶液將使錐的壽命減少至數(shù)天。若想盡量延長錐的壽命，必須小心選擇酸的類型和酸度。如果錐的表面出現(xiàn)凹痕或不光滑，更易于產(chǎn)生氧化物粒子。所以接口錐必須定期清洗。清洗周期取決于運(yùn)行時間以及分析樣品的含鹽量程度。監(jiān)測diyi級真空可得知錐孔情況。如果工作量大的話，Z好每日檢查清洗。

　　錐一般是由金屬鎳精密加工而成。錐孔尤其是截取錐孔非常尖，極易碰損，所以卸取、清洗和安裝都必須格外小心。

　　有以下幾種清洗錐的方法:

　?、俨捎贸暡ㄔ诖蠹s5%的洗滌液中清洗15min，然后再用去離子水超聲清洗15min。

　?、谟脤Ｓ玫慕饘賿伖夥酆统赡酄?，用一塊軟布由內(nèi)到外輕輕擦拭錐體內(nèi)表面和外表面。用水沖洗錐，然后再放到1%～5%的硝酸中超聲清洗2min。

　　③用去離子水充分洗凈，Z后用丙酮或空氣使其干燥。如有必要，還可以使用水磨砂紙對錐進(jìn)行打磨，以去除錐上的頑固污漬，隨后再用大量去離子水沖凈。如果錐明顯損壞，則必須更換。

三、透鏡系統(tǒng)維護(hù)

　　ICP-MS透鏡系統(tǒng)一般Z好由專業(yè)維修人員維修檢查。如果ICP-MS運(yùn)行負(fù)荷很大的話，Z好半年查一次，如需要的話，進(jìn)行清洗。提取透鏡Z好每月檢查清洗。

　　清洗方法：一般采用水磨砂紙打磨提取透鏡，再用去離子水清洗，并在去離子水中超聲清洗5min。

　　清洗透鏡時，請注意所使用的工具頂部也要清洗，而且一定要戴好無粉手套后才可接觸透鏡，以防污染。透鏡和引導(dǎo)片可以使用砂紙打磨，去離子水沖洗，超聲清洗，然后在空氣中晾干或烘箱中烘干。也可用丙酮清洗將表面的水趕盡。

四、檢測器維護(hù)

　　ICP-MS電子倍增器通常有一個有限的壽命，它取決于總的累積放電，即(輸入離子)×(增益)。超過這個壽命，內(nèi)表涂層耗盡，倍增器需更換。所以，盡管新型檢測器可以測量高濃度信號，但為了保護(hù)檢測器的壽命，實際應(yīng)用中對高濃度盡可能采取稀釋或其他方法，盡量避免長時間測量高強(qiáng)信號。

五、真空系統(tǒng)維護(hù)

　　ICP-MS真空系統(tǒng)一般不需要日常維修保養(yǎng)。除非長期停運(yùn)，一般應(yīng)保持ICP-MS的真空狀態(tài)。如有問題可與ICP-MS廠家聯(lián)系。機(jī)械泵的泵油一般由專業(yè)維修人員視情況更換。可觀察泵油的顏色，如顏色為深黃色，需更換。更換泵油時，必須先將ICP-MS關(guān)機(jī)。將廢泵油排放至廢油桶中，然后添加新泵油，油面高度一般達(dá)到滿刻度80%處即可。真空規(guī)用以監(jiān)測質(zhì)量分析器的真空度。

　　如果真空表讀數(shù)有突然的波動，那就表明真空規(guī)需要清洗了。這種情況下，真空規(guī)讀數(shù)的波動一般會大于±10%。出現(xiàn)不穩(wěn)定的尖峰、棒峰信號，也是真空規(guī)需要維護(hù)的跡象之一。為了很好的維護(hù)真空規(guī)，一般推薦每年更換一次真空規(guī)。也可以清洗真空規(guī)。真空規(guī)從ICP-MS上拆下后，將陽極棒和陰極部分打磨，去除離子污痕，再用去離子水沖洗，超聲并干燥。

　　日常工作中如果發(fā)現(xiàn)油霧過濾器處存油太多，可在機(jī)械泵工作狀態(tài)下，直接旋松泵頂部的回油閥3～5min，讓泵油流回泵中。

六、冷卻水系統(tǒng)維護(hù)

　　ICP-MS冷卻水系統(tǒng)非常重要。一般采用去離子蒸餾水。每日檢查冷卻水進(jìn)出是否通暢。定期檢查液面，定期更換水。

七、環(huán)境(溫度、濕度、清潔度)維護(hù)

　　ICP-MS房間Z好采用超凈實驗室設(shè)計，使房間內(nèi)保持在正壓狀態(tài)，保持室內(nèi)清潔。溫度一般保持在22±1.5℃，濕度40%～70%。濕度大的季節(jié)，必須采用去濕機(jī)去濕。

八、ICP-MS調(diào)試部分維護(hù)

　　1、安裝好ICP-MS部件，打開ICP-MS各部分電源，打開工作軟件界面，開始抽真空，待ICP-MS進(jìn)入standBy狀態(tài)，進(jìn)行等離子點(diǎn)火。ICP-MS進(jìn)入分析狀態(tài)，穩(wěn)定10分鐘左右，開始ICP-MS的硬件調(diào)諧

　　2、硬件調(diào)諧：可以對某一個部件進(jìn)行掃描操作，也可以批量進(jìn)行，使ICP-MS工作狀態(tài)達(dá)到Zyou化。