一種將輝光放電源當(dāng)作離子源并且和質(zhì)譜儀器聯(lián)接行質(zhì)譜測定的分析方法，被稱為輝光放電質(zhì)譜法，英文名：glow discharge mass spectrometry，簡稱為GDMS。GDMS應(yīng)用于多個學(xué)科領(lǐng)域，作用舉足輕重，在材料科學(xué)領(lǐng)域，GDMS已經(jīng)變成了無機(jī)固體材料，特別是高純材料雜質(zhì)成分分析的強(qiáng)有力方法。GDMS已經(jīng)變成了反應(yīng)性和非反應(yīng)性等離子體沉積過程的控制和表征的工具。

應(yīng)用

氣體分析應(yīng)用

因?yàn)槭褂梅肿託怏w(如氮?dú)?、氧氣。、空氣、水蒸?能夠使得穩(wěn)定的輝光放電獲得，因此氣體的分析也能夠使用GDMS。

1、Schelles等采用第二陰極技術(shù)使用GDMS進(jìn)行大氣中的顆粒物的測定。

2、Gordon等采用射頻輝光放電離子阱質(zhì)譜和級聯(lián)質(zhì)譜實(shí)時監(jiān)控空氣中的有毒污染物

3、McLuckey及其合作者報道了使用GDMS對大氣樣品中痕量雜質(zhì)進(jìn)行分析。

非導(dǎo)體分析應(yīng)用

因?yàn)楸环治鰳悠吩谥绷鬏x光放電中作為陰極,因此對于GDMS而言非導(dǎo)體樣品作為分析樣品類型不是理想不是十分的理想。對于此類樣品，不僅能夠采用射頻輝光放電直接進(jìn)行分析(塊狀或壓制成塊狀),而且還能夠?qū)⒌诙帢O引入或者混合壓制樣品(粉末)與導(dǎo)電材料(如Cu,Ag,石墨,Ta ，In,Ga等)將其制成陰極加以測定。

半導(dǎo)體分析應(yīng)用

在GDMS的應(yīng)用領(lǐng)域中，半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)分析是非常重要的，而且商業(yè)價值也非常的高。半導(dǎo)體材料中濃度極低的雜質(zhì)元素就能夠?qū)ζ潆妼W(xué)性質(zhì)起到?jīng)Q定性作用。然而普通的分析方法并不能夠勝任半導(dǎo)體的材料性質(zhì)及雜質(zhì)元素的含量水平。由于GDMS所具有的特點(diǎn)，其作為高純半導(dǎo)體材料乃至半導(dǎo)體工業(yè)材料的分析手段變得比不可少。